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龍圖騰網恭喜廣州粵升半導體設備有限公司申請的專利一種上下料裝置及外延設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN118629924B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202311399358.1，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權一種上下料裝置及外延設備是由曾慶森;林逸;楊軍偉;陳蛟設計研發完成，并于2023-10-26向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種上下料裝置及外延設備在說明書摘要公布了：本發明實施例提供了一種上下料裝置及外延設備，其中，上下料裝置包括主腔室、存儲結構、取放片機構和升降機構；主腔室具有第一開口和第二開口；第一開口用于向主腔室內放置襯底或從主腔室內取出外延片；第二開口用于與傳輸腔連通；存儲結構固定設置在主腔室內，并位于第一開口處，用以存放襯底和或外延片，存儲結構具有沿其高度方向依次設置的多個存儲位；升降機構設置在主腔室內，用以帶動取放片機構在主腔室內上升或下降；取放片機構設置在主腔室內，用以與升降機構配合，將襯底從存儲結構取出，并經第二開口運輸至主腔室的外部，和將從傳輸腔運輸過來的外延片，經第二開口運輸至存儲結構存儲。本申請實施例的上下料裝置自動化程度高。

本發明授權一種上下料裝置及外延設備在權利要求書中公布了：1.一種上下料裝置，其特征在于，用于對外延設備的傳輸腔（20）進行上下料，包括：主腔室（100）、存儲結構（200）、取放片機構（300）和升降機構（400）；所述主腔室（100）具有設置在其側壁上的第一開口（110）和設置在其頂壁上的第二開口（120）；所述第一開口（110）用于向所述主腔室（100）內放置襯底或從所述主腔室（100）內取出外延片；所述第二開口（120）用于與所述傳輸腔（20）連通；所述存儲結構（200）固定設置在所述主腔室（100）內，并位于所述第一開口（110）處，用以存放所述襯底和或所述外延片，所述存儲結構（200）具有沿其高度方向依次設置的多個存儲位（201）；所述升降機構（400）設置在所述主腔室（100）內，用以帶動所述取放片機構（300）在所述主腔室（100）內上升或下降；所述取放片機構（300）設置在所述主腔室（100）內，用以與所述升降機構（400）配合，將所述襯底從所述存儲結構（200）取出，并經所述第二開口（120）運輸至所述主腔室（100）的外部，和將從所述傳輸腔（20）運輸過來的所述外延片，經所述第二開口（120）運輸至所述存儲結構（200）存儲；所述取放片機構（300）包括：水平運輸組件（310）、豎直運輸組件（320）和固定組件（330）；所述水平運輸組件（310）和所述豎直運輸組件（320）分別與所述固定組件（330）固定連接，所述固定組件（330）與所述升降機構（400）連接；所述水平運輸組件（310）包括水平電缸（311）和第一承載件（312）；所述第一承載件（312）與所述水平電缸（311）直接連接；所述水平電缸（311）帶動所述第一承載件（312）沿水平方向運動；所述豎直運輸組件（320）包括豎直電缸（321）和第二承載件（322）；所述第二承載件（322）與所述豎直電缸（321）連接；所述豎直電缸（321）帶動所述第二承載件（322）沿豎直方向運動，以從所述第一承載件（312）上取走所述襯底，或向所述第一承載件（312）放置所述外延片；所述襯底生長外延層形成所述外延片。

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