恭喜杭州邦齊州科技有限公司張曉旭獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜杭州邦齊州科技有限公司申請的專利一種周期性碗狀結構模板的制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN118239445B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202410198424.7，技術領域涉及：B81C1/00；該發明授權一種周期性碗狀結構模板的制備方法是由張曉旭設計研發完成，并于2024-02-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種周期性碗狀結構模板的制備方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種周期性碗狀結構模板的制備方法，包括以下幾個步驟：在晶圓襯底上表面鍍二氧化硅膜層；在二氧化硅膜層表面涂覆光刻膠，對光刻膠進行光刻，使得光刻膠上形成有周期性光刻膠圖形；對失去光刻膠保護部分的二氧化硅膜層進行離子束刻蝕處理，使二氧化硅膜層被刻蝕的位置形成有碗狀凹槽；去膠，得到周期性碗狀結構模板。本制備方法操作簡單快速，可獲得大面積周期性良好、尺寸均一的碗狀結構模板，能夠大批量生產；制備過程中不需要使用帶有腐蝕性的化學品，保障操作人員安全。
本發明授權一種周期性碗狀結構模板的制備方法在權利要求書中公布了：1.一種周期性碗狀結構模板的制備方法，其特征在于，包括以下幾個步驟：提供晶圓襯底，在所述晶圓襯底上表面鍍二氧化硅膜層；在所述二氧化硅膜層上表面涂覆光刻膠，對光刻膠進行光刻，使得光刻膠上形成有周期性光刻膠圖形；對失去光刻膠保護部分的二氧化硅膜層進行離子束刻蝕處理，使二氧化硅膜層被刻蝕的位置形成有碗狀凹槽；完全去膠，得到周期性碗狀結構模板；其中，所述離子束刻蝕的刻蝕條件為刻蝕角度為35°～65°，氬氣流量為5～30sccm，腔內壓強為7×10-4Pa～8×10-4Pa，刻蝕時間為5min～10min。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人杭州邦齊州科技有限公司，其通訊地址為：311400 浙江省杭州市富陽區春江街道江南路68號第23幢910室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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