恭喜格科微電子(上海)有限公司杜柯獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜格科微電子(上海)有限公司申請的專利納米壓印模具、制作方法及指紋識別芯片的制作工藝獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114624956B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-20發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202011438609.9,技術領域涉及:G03F7/00;該發明授權納米壓印模具、制作方法及指紋識別芯片的制作工藝是由杜柯;張超設計研發完成,并于2020-12-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本納米壓印模具、制作方法及指紋識別芯片的制作工藝在說明書摘要公布了:本發明提供一種納米壓印模具、制作方法及指紋識別芯片的制作工藝,其中,所述納米壓印模具的制作方法,包括:在半導體襯底上依次形成多層厚度可控的半導體膜,并對其中至少一層半導體膜進行高精度的圖形化,以通過這些圖形化的半導體膜的組合,形成三維立體的所述納米壓印模具。所述納米壓印模具的形狀能夠通過圖形化的半導體膜的精準控制,實現高精度可控的形狀。可用以匹配任意指紋識別芯片微鏡頭以及其他CMOS圖像傳感器的微鏡頭。
本發明授權納米壓印模具、制作方法及指紋識別芯片的制作工藝在權利要求書中公布了:1.一種納米壓印模具的制作方法,其特征在于,包括: 在半導體襯底上依次形成多層厚度可控的半導體膜,并對其中至少一層半導體膜進行高精度的圖形化,以通過這些圖形化的半導體膜的組合,形成三維立體的所述納米壓印模具; 第n層半導體圖形的邊緣覆蓋第n-1層半導體圖形的邊緣或者第n-1層半導體圖形的邊緣超過第n層半導體圖形的邊緣。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人格科微電子(上海)有限公司,其通訊地址為:201203 上海市浦東新區張江盛夏路560號2號樓11層;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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