恭喜柿子技術公司S·威爾卡斯獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜柿子技術公司申請的專利用于機器人系統的基于雷達的位置測量獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN113711342B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-17發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202080024969.6,技術領域涉及:H01L21/68;該發明授權用于機器人系統的基于雷達的位置測量是由S·威爾卡斯設計研發完成,并于2020-02-12向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于機器人系統的基于雷達的位置測量在說明書摘要公布了:一種裝置,包括至少一個發射器,至少一個發射器被配置為發射能量;至少一個接收器,至少一個接收器被配置為接收所發射的能量,其中至少一個發射器被安裝在以下項中的至少一項上:機械臂,機械臂的端部執行器,機械臂上的基板,或基板處理模塊,其中至少一個接收器被安裝在以下項中的至少一項上:機械臂,機械臂的端部執行器,機械臂上的基板,或基板處理模塊。
本發明授權用于機器人系統的基于雷達的位置測量在權利要求書中公布了:1.一種裝置,包括: 至少一個發射器,被配置為發射能量; 至少一個接收器,被配置為接收所發射的能量, 其中所述至少一個發射器被安裝在以下項中的至少一項上: 機械臂, 所述機械臂的端部執行器, 所述機械臂上的基板,或 基板處理模塊, 其中所述至少一個接收器被安裝在以下項中的至少一項上: 所述機械臂, 所述機械臂的所述端部執行器, 所述機械臂上的所述基板,或 所述基板處理模塊; 其中所述至少一個發射器包括多個發射器,其中所述多個發射器被安裝到所述基板處理模塊的腔室并且具有相應不同的能量傳輸方向,所述相應不同的能量傳輸方向朝向所述腔室中的中心基板定位區域。
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