恭喜長江存儲科技有限責任公司鄭亮獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜長江存儲科技有限責任公司申請的專利一種上電極設備以及等離子體處理裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111370287B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-10發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010215168.X，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權一種上電極設備以及等離子體處理裝置是由鄭亮;劉青松;豆海清;盧剛;張光軒;曾最新設計研發完成，并于2020-03-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種上電極設備以及等離子體處理裝置在說明書摘要公布了：本申請實施例提供了一種上電極設備，所述上電極設備應用于等離子體處理裝置中，所述上電極設備用于對反應氣體進行加壓，以將所述反應氣體激發成等離子態并作用于待處理晶圓上；所述上電極設備包括：第一部分，所述第一部分為所述上電極設備的中心部分；其中，所述第一部分包括面向所述待處理晶圓凸出的第一表面區域，所述第一表面區域在第一方向上的寬度大于第二方向上的寬度，所述第一方向和所述第二方向為沿所述上電極設備平面方向延伸的兩彼此垂直的方向。
本發明授權一種上電極設備以及等離子體處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種上電極設備，其特征在于，所述上電極設備應用于等離子體處理裝置中，所述上電極設備用于對反應氣體進行加壓，以將所述反應氣體激發成等離子態并作用于待處理晶圓上；所述上電極設備包括：第一部分，所述第一部分為所述上電極設備的中心部分；其中，所述第一部分包括面向所述待處理晶圓凸出的第一表面區域，所述第一表面區域在第一方向上的寬度與第二方向上的寬度之比為1.5至3，且所述第一部分的厚度沿所述第二方向的變化程度大于沿所述第一方向的變化程度，所述第一方向和所述第二方向為沿所述上電極設備平面方向延伸的兩彼此垂直的方向；所述第一表面區域的外周邊沿所述第一方向的頂部呈錐形，所述第一表面區域的外周邊沿所述第二方向的頂部呈圓弧形；所述待處理晶圓為三維存儲器的襯底，所述三維存儲器上包括柵極線層狹縫的形成區域，所述柵極線層狹縫的延伸方向與所述第二方向相對應。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人長江存儲科技有限責任公司，其通訊地址為：430074 湖北省武漢市東湖新技術開發區未來三路88號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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