恭喜川崎重工業株式會社清水一平獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜川崎重工業株式會社申請的專利基板搬運機器人獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115996824B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-10發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202080103687.5,技術領域涉及:H01L21/677;該發明授權基板搬運機器人是由清水一平;高氏龍之介設計研發完成,并于2020-11-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板搬運機器人在說明書摘要公布了:該基板搬運機器人100具備線纜引導部5,該線纜引導部5配置有機器人線纜101并以追隨于與臂2的升降一起移動的機器人線纜101的方式變形,上述機器人線纜101配置于殼體4的內部并且從臂2延伸。
本發明授權基板搬運機器人在權利要求書中公布了:1.一種基板搬運機器人,其中,所述基板搬運機器人具備:基板保持機械手;臂,使所述基板保持機械手移動;臂升降機構,使所述臂升降;柱狀的殼體,覆蓋所述臂升降機構;以及線纜引導部,配置有機器人線纜并以追隨于與所述臂的升降一起移動的所述機器人線纜的方式變形,所述機器人線纜配置于所述殼體的內部并且從所述臂延伸,所述機器人線纜包括:第1線纜部分,配置于所述線纜引導部,并與所述臂的升降一起移動;和第2線纜部分,配置于所述線纜引導部的外部,并且被固定而不與所述臂的升降一起移動,該第2線纜部分沿著鉛垂方向延伸,所述基板搬運機器人還具備連接器,該連接器設置于所述第2線纜部分的端部,并與控制所述基板搬運機器人的設置于所述殼體的外部的機器人控制部連接,在所述殼體的內部設置有沿著鉛垂方向配置的板狀的部件,所述線纜引導部的端部被固定于該板狀的部件,所述第2線纜部分越過所述板狀的部件的上端并沿著所述板狀的部件配置在所述板狀的部件與所述殼體之間。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人川崎重工業株式會社,其通訊地址為:日本兵庫縣;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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