恭喜格科微電子(上海)有限公司胡杏獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜格科微電子(上海)有限公司申請的專利銅鎢電連接結構及其形成方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114649293B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-10發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202011501441.1,技術領域涉及:H01L23/522;該發明授權銅鎢電連接結構及其形成方法是由胡杏;鄒文;賀忻;李朝勇設計研發完成,并于2020-12-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本銅鎢電連接結構及其形成方法在說明書摘要公布了:一種銅鎢電連接結構及其形成方法,所述方法包括:在銅層的表面形成第一阻擋層;在所述第一阻擋層的表面形成緩沖層;在所述緩沖層的表面形成第二阻擋層;其中,鎢層形成于所述第二阻擋層的表面。本發明可以滿足阻止金屬擴散、提高器件穩定性、降低生產成本等多種需求。
本發明授權銅鎢電連接結構及其形成方法在權利要求書中公布了:1.一種銅鎢電連接結構的形成方法,其特征在于,包括:在銅層的表面形成第一阻擋層;在所述第一阻擋層的表面形成緩沖層;在所述緩沖層的表面形成第二阻擋層;其中,鎢層形成于所述第二阻擋層的表面;其中,所述緩沖層的應力小于預設應力范圍,以起到均衡上下層材料的應力、吸收應力的作用。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人格科微電子(上海)有限公司,其通訊地址為:201203 上海市浦東新區盛夏路560弄2號樓11F;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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