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龍圖騰網恭喜蘇州智程半導體科技股份有限公司申請的專利一種晶圓無電解電鍍機獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119876920B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-03發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510368947.6，技術領域涉及：C23C18/16；該發明授權一種晶圓無電解電鍍機是由楊仕品;周訓丙設計研發完成，并于2025-03-27向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓無電解電鍍機在說明書摘要公布了：本發明適用于晶圓電鍍設備技術領域，提供了一種晶圓無電解電鍍機；包括：槽體，槽體內部中間位置設置有中間電鍍槽，中間電鍍槽外側設置有無電解電鍍液供應槽，無電解電鍍液供應槽用于儲存無電解電鍍液；中間電鍍槽底部中間位置轉動設置有存載座，存載座上存載有晶圓承載單元，晶圓承載單元上存載有多層水平布置的晶圓；設置在中間電鍍槽內部設置的供液單元，供液單元包括若干噴液管，噴液管彈性轉動安裝在中間電鍍槽底部，噴液管豎直陣列布置有若干噴頭，若干噴液管陣列布置在中間電鍍槽底部；設置在中間電鍍槽內部設置的排液單元，供液單元和排液單元圓周陣列布置在存載座的外側；和蓋合在槽體上的蓋板。

本發明授權一種晶圓無電解電鍍機在權利要求書中公布了：1.一種晶圓無電解電鍍機，其特征在于，包括：槽體（10），所述槽體（10）內部中間位置設置有中間電鍍槽（101），所述中間電鍍槽（101）外側設置有無電解電鍍液供應槽（102），所述無電解電鍍液供應槽（102）用于儲存無電解電鍍液；所述中間電鍍槽（101）底部中間位置轉動設置有存載座（104），所述存載座（104）上存載有晶圓承載單元（103），所述晶圓承載單元（103）上存載有多層水平布置的晶圓；設置在所述中間電鍍槽（101）內部設置的供液單元，所述供液單元包括若干噴液管（108），所述噴液管（108）彈性轉動安裝在中間電鍍槽（101）底部，所述噴液管（108）豎直陣列布置有若干噴頭（109），若干噴液管（108）陣列布置在中間電鍍槽（101）底部；設置在所述中間電鍍槽（101）內部設置的排液單元，所述供液單元和排液單元圓周陣列布置在存載座（104）的外側，所述排液單元包括若干吸收管（110），若干吸收管（110）安裝在中間電鍍槽（101）底部，所述吸收管（110）上豎直陣列布置有若干吸液口（111）；驅動若干噴頭（109）同時轉動設定角度的轉動組件，所述轉動組件包括固定套設在噴液管（108）外側的不完全齒輪（116），所述存載座（104）外側連接有驅動環（106），所述驅動環（106）外側陣列布置有若干段齒段（107），齒段（107）用于與相鄰的不完全齒輪（116）嚙合，所述噴液管（108）底部轉動安裝在中間電鍍槽（101）底部的圓形凹槽中，且噴液管（108）外側套設有第一彈性件（117），所述第一彈性件（117）兩端分別固定安裝在噴液管（108）和圓形凹槽側壁上；和蓋合在槽體（10）上的蓋板（20）。

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