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龍圖騰網恭喜ASML荷蘭有限公司申請的專利暗場數字全息顯微鏡和相關聯的量測方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114830043B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-30發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080087946.X，技術領域涉及：G03H1/04；該發明授權暗場數字全息顯微鏡和相關聯的量測方法是由W·M·J·M·柯恩;A·J·登鮑埃夫;V·T·滕納;N·潘迪;C·彌賽西;J·F·迪鮑爾設計研發完成，并于2020-10-21向國家知識產權局提交的專利申請。

本暗場數字全息顯微鏡和相關聯的量測方法在說明書摘要公布了：本發明披露一種暗場數字全息顯微鏡，所述暗場數字全息顯微鏡被配置成確定結構的所關注的特性。所述暗場數字全息顯微鏡包括：照射裝置，所述照射裝置被配置成至少提供：第一束對，所述第一束對包括第一照射輻射束1010和第一參考輻射束1030；和第二束對，所述第二束對包括第二照射輻射束1020和第二參考輻射束1040；和一個或更多個光學元件1070，所述一個或更多個光學元件能夠操作以捕獲由所述結構散射的第一散射輻射且捕獲由所述結構散射的第二散射輻射，所述第一散射輻射和所述第二散射輻射分別由所述第一照射束和所述第二照射束而產生。所述第一束對的束是相互相干的，以及所述第二束對的束是相互相干的。所述照射裝置被配置成在所述第一束對與所述第二束對之間強加非相干性ADI。

本發明授權暗場數字全息顯微鏡和相關聯的量測方法在權利要求書中公布了：1.一種暗場數字全息顯微鏡，所述暗場數字全息顯微鏡被配置成確定結構的所關注的特性，所述暗場數字全息顯微鏡包括：照射裝置，所述照射裝置被配置成至少提供：第一束對，所述第一束對包括第一照射輻射束和第一參考輻射束；和第二束對，所述第二束對包括第二照射輻射束和第二參考輻射束；和成像分支，所述成像分支能夠操作以至少檢測由所述結構散射的第一散射輻射以及檢測由所述結構散射的第二散射輻射，所述第一散射輻射由所述結構受所述第一照射輻射束照射而產生，所述第二散射輻射由所述結構受所述第二照射輻射束照射而產生，所述成像分支具有大于0.1的檢測NA；其中所述照射裝置被配置使得：所述第一照射輻射束和所述第一參考輻射束是至少部分地時間相干的和至少部分地空間相干的；所述第二照射輻射束和所述第二參考輻射束是至少部分地時間相干的和至少部分地空間相干的；以及所述照射裝置被配置成通過在所述第一束對與所述第二束對之間引入延遲來在所述第一束對與所述第二束對之間強加時間非相干性和或空間非相干性，所述延遲經由包括可調光學延遲線的非相干延遲布置被實施。

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