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龍圖騰網恭喜新毅東(北京)科技有限公司申請的專利一種半導體加工設備及工作方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119626962B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-30發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510157157.3，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權一種半導體加工設備及工作方法是由張琪;符友銀;朱凱設計研發完成，并于2025-02-13向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種半導體加工設備及工作方法在說明書摘要公布了：本發明涉及半導體加工技術領域，公開一種半導體加工設備及工作方法。其中第一驅動組件用于驅動第二驅動組件沿第二方向在第一工位和中部工位之間移動；第一驅動組件用于驅動第三驅動組件沿第二方向在中部工位和第二工位之間移動，第一工位、中部工位和第二工位沿第二方向依次間隔設置；第二驅動組件用于驅動一個工件臺沿第一方向在第三工位和第四工位之間移動；第三驅動組件用于驅動另一個工件臺沿第一方向在第五工位和第六工位之間移動；位于第一工位和第三工位的工件臺以及位于第二工位和第五工位的工件臺能夠與外部機構相互交接晶圓；位于中部工位和第四工位的工件臺以及位于中部工位和第六工位的工件臺能夠加工晶圓。

本發明授權一種半導體加工設備及工作方法在權利要求書中公布了：1.一種半導體加工設備，其特征在于，包括：加工臺（3），其包括第一驅動組件（31）、第二驅動組件（32）、第三驅動組件（33）和兩個工件臺，所述第一驅動組件（31）用于驅動所述第二驅動組件（32）沿第二方向在第一工位和中部工位之間移動；所述第一驅動組件（31）用于驅動所述第三驅動組件（33）沿所述第二方向在所述中部工位和第二工位之間移動，所述第一工位、所述中部工位和所述第二工位沿所述第二方向依次間隔設置；所述第二驅動組件（32）用于驅動一個所述工件臺沿第一方向在第三工位和第四工位之間移動；所述第三驅動組件（33）用于驅動另一個所述工件臺沿所述第一方向在第五工位和第六工位之間移動；位于所述第一工位和所述第三工位的所述工件臺以及位于所述第二工位和所述第五工位的所述工件臺能夠與外部機構相互交接晶圓；位于所述中部工位和所述第四工位的所述工件臺以及位于所述中部工位和所述第六工位的所述工件臺能夠加工所述晶圓；所述外部機構包括兩個預對準設備，所述預對準設備用于將所述晶圓預對準，兩個所述預對準設備分別位于所述第一工位和所述第二工位沿所述第一方向的一側，兩個所述預對準設備能夠分別與兩個所述工件臺相互交接所述晶圓；所述預對準設備包括預對準儀（2）和晶圓運輸機構（1），所述工件臺的晶圓曝光承接位設置有若干個能夠升降的定位柱，所述定位柱適于承接所述晶圓；所述預對準儀（2）包括晶圓預對準位和緩存工位，且所述緩存工位位于所述晶圓預對準位的上方，所述晶圓預對準位用于對所述晶圓進行預對準，所述緩存工位用于暫存所述晶圓；所述晶圓運輸機構（1）用于所述晶圓預對準位和所述工件臺之間以及所述緩存工位和所述工件臺之間相互交接所述晶圓。

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