買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網恭喜馬克思-普朗克科學促進協會申請的專利控制蒸發源材料的磁通分布的方法、測量在源表面上反射的電磁輻射的檢測器及利用電磁輻射進行熱蒸發的系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115867688B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-27發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080102628.6，技術領域涉及：C23C14/28；該發明授權控制蒸發源材料的磁通分布的方法、測量在源表面上反射的電磁輻射的檢測器及利用電磁輻射進行熱蒸發的系統是由沃爾夫岡·布勞恩設計研發完成，并于2020-06-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本控制蒸發源材料的磁通分布的方法、測量在源表面上反射的電磁輻射的檢測器及利用電磁輻射進行熱蒸發的系統在說明書摘要公布了：本發明涉及控制用于利用電磁輻射120進行熱蒸發的系統10中的蒸發源材料20的磁通分布30的方法，其中系統10包括：用于提供電磁輻射120的電磁輻射源110；包含反應氣氛16的真空室12；和用于測量電磁輻射120的檢測器40，其中源材料20和待涂布目標材料18布置在真空室12中，輻射源布置為使得其電磁輻射120以一定角度，優選以45°的角度撞擊在源材料20的源表面22上，以使源材料20在等離子體閾值以下熱蒸發和或升華，其中用于測量電磁輻射120的檢測器40被布置為使得在源表面22上反射的電磁輻射120到達檢測器40。此外，本發明涉及測量電磁輻射120的檢測器40，檢測器40優選地適合于根據本發明的方法，本發明還涉及用于利用電磁輻射120進行熱蒸發的系統10，該系統適合于根據本發明的方法。

本發明授權控制蒸發源材料的磁通分布的方法、測量在源表面上反射的電磁輻射的檢測器及利用電磁輻射進行熱蒸發的系統在權利要求書中公布了：1.一種控制系統10中的蒸發源材料20的磁通分布30的方法，所述系統10用于利用電磁輻射120進行熱蒸發，其中，所述系統10包括：用于提供電磁輻射120的電磁輻射源110；包含反應氣氛16的真空室12；以及用于測量電磁輻射120的檢測器40，其中，源材料20和待涂布的目標材料18布置在所述真空室12中，并且所述輻射源被布置為使得其電磁輻射120以一定角度撞擊在所述源材料20的源表面22上，以使所述源材料20在等離子體閾值以下熱蒸發和或升華，并且其中，用于測量電磁輻射120的所述檢測器40被布置為使得在所述源表面22上反射的電磁輻射120到達所述檢測器40，所述方法包括以下步驟：a限定從所述源表面22蒸發的源材料磁通的期望分布32和所述期望分布32所需的電磁輻射120的撞擊分布130；b基于步驟a的所述期望分布32和所述撞擊分布130確定在所述源表面22上反射的電磁輻射120的預期分布132；c通過所述電磁輻射源110以在步驟a中限定的所需撞擊分布130提供電磁輻射120；d通過所述檢測器40測量在所述源表面22上反射的電磁輻射120；e基于步驟d的測量數據確定在所述源表面22上反射的電磁輻射120的測量分布134；f確定在步驟b中確定的所述預期分布132與在步驟e中確定的所述測量分布134之間的差異；g重新確定由所述電磁輻射源110提供的電磁輻射120的所述所需撞擊分布130，以最小化在步驟f中確定的所述差異；以及h通過所述電磁輻射源110以在步驟g中重新確定的所述所需撞擊分布130提供電磁輻射120。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人馬克思-普朗克科學促進協會，其通訊地址為：德國慕尼黑；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。