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龍圖騰網(wǎng)恭喜沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司申請(qǐng)的專利一種適用于并聯(lián)管路的控制系統(tǒng)及方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119565870B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-27發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510138489.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B05C11/10；該發(fā)明授權(quán)一種適用于并聯(lián)管路的控制系統(tǒng)及方法是由郭東;張懷東;程超;王雨婷設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-02-08向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種適用于并聯(lián)管路的控制系統(tǒng)及方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種適用于并聯(lián)管路的控制系統(tǒng)及方法，涉及管路輸送技術(shù)領(lǐng)域，包括：主管路，主管路的一端與流體源裝置相連通，另一端分支出多條支路；多個(gè)流體控制裝置，每個(gè)流體控制裝置設(shè)置于相應(yīng)的支路上，流體控制裝置包括依次連通的第一通斷部、暫存腔和第二通斷部，第一通斷部用以控制支路上游的流體的通斷，暫存腔內(nèi)設(shè)置有調(diào)整部，調(diào)整部用于調(diào)整所述暫存腔的內(nèi)部容積，第二通斷部用以控制暫存腔內(nèi)的流體的通斷；控制器，用于控制第一通斷部、調(diào)整部和第二通斷部的動(dòng)作。本發(fā)明能減輕傳統(tǒng)半導(dǎo)體膠泵用于并聯(lián)管路時(shí)產(chǎn)生流體流量突變，提高吐出量精度，使并聯(lián)管路中的各條管路的吐出量精度均能滿足實(shí)際要求，并且降低了設(shè)備的成本。

本發(fā)明授權(quán)一種適用于并聯(lián)管路的控制系統(tǒng)及方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種適用于并聯(lián)管路的控制系統(tǒng)，其特征在于，包括：流體源裝置；主管路，所述主管路的一端與所述流體源裝置相連通，另一端分支出若干互不干擾的支路；多個(gè)流體控制裝置，分別設(shè)置于若干所述支路上，所述流體控制裝置包括依次能夠連通的第一通斷部、暫存腔和第二通斷部，所述第一通斷部用以控制所述支路上游的流體的通斷，所述暫存腔內(nèi)設(shè)置有調(diào)整部，所述調(diào)整部用于調(diào)整所述暫存腔的內(nèi)部容積，所述第二通斷部用以控制所述暫存腔內(nèi)的流體的通斷；控制器，所述控制器分別與所述第一通斷部、所述調(diào)整部和所述第二通斷部連接，用于控制所述第一通斷部、所述調(diào)整部和所述第二通斷部的動(dòng)作；所述流體控制裝置還包括第三通斷部和循環(huán)部，所述第三通斷部用于控制所述暫存腔與所述循環(huán)部之間的通斷；所述循環(huán)部的一端與所述第三通斷部連接，另一端與所述主管路的上游連接；所述流體控制裝置包括第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，若所述流體控制裝置處于所述第一狀態(tài)下，控制器控制所述流體控制裝置執(zhí)行第一動(dòng)作，以使流體裝填至所述流體控制裝置的暫存腔；若所述流體控制裝置處于所述第二狀態(tài)下，控制器控制所述流體控制裝置執(zhí)行第二動(dòng)作，以使所述暫存腔內(nèi)的所述流體排出，和所述支路下游的所述流體回吸至所述暫存腔；所述暫存腔內(nèi)的流體經(jīng)過所述第二通斷部從支路下游流出后，所述控制器控制所述暫存腔的內(nèi)部容積增大，以使所述支路下游的流體回吸至所述暫存腔內(nèi)。

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