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恭喜中美矽晶制品股份有限公司林煌偉獲國家專利權

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龍圖騰網(wǎng)恭喜中美矽晶制品股份有限公司申請的專利硅氧化物的制備裝置獲國家發(fā)明授權專利權,本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予,授權公告號為:CN115364509B

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-05-23發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉:該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為:202210124601.8,技術領域涉及:B01D7/02;該發(fā)明授權硅氧化物的制備裝置是由林煌偉;楊瑜民;許松林設計研發(fā)完成,并于2022-02-10向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。

硅氧化物的制備裝置在說明書摘要公布了:一種硅氧化物的制備裝置,包括一加熱爐、一加熱裝置、一坩堝、一析出盒、一排氣管道,及一抽氣裝置,所述加熱爐內部具有由一隔熱材料圍設形成的一加熱爐腔;所述加熱裝置、所述坩堝及所述析出盒設置于所述加熱爐腔中;所述析出盒具有一入氣口及一出氣口,所述析出盒包含至少一個隔板并設置于所述析出盒的內部空間中,所述至少一個隔板與所述析出盒內壁形成至少一個通道,所述至少一個通道分別連通所述入氣口及所述出氣口;所述排氣管道具有一第一端及一第二端,所述第一端設置于鄰近所述坩堝的上開口的位置,所述第二端與所述析出盒的所述入氣口連通;所述抽氣裝置與所述析出盒的所述出氣口連通。

本發(fā)明授權硅氧化物的制備裝置在權利要求書中公布了:1.一種硅氧化物的制備裝置,包含:一加熱爐,內部具有由一隔熱材料圍設形成的一加熱爐腔;一加熱裝置,設置于所述加熱爐腔中;一坩堝,設置于所述加熱爐腔中,用以容置一固態(tài)原料,所述固態(tài)原料包括二氧化硅及硅,所述加熱裝置對所述坩堝加熱使所述固態(tài)原料形成一氣態(tài)硅氧化物;所述坩堝具有一上開口;一析出盒,設置于所述加熱爐腔與所述加熱爐的內爐壁之間,所述析出盒具有一入氣口及一出氣口,所述析出盒包含至少一個隔板并設置于所述析出盒的內部空間中,所述至少一個隔板與所述析出盒的內壁形成至少一個通道,所述至少一個通道分別連通所述入氣口及所述出氣口;一排氣管道,具有一第一端及一第二端,所述第一端設置于鄰近所述坩堝的所述上開口的位置,所述第二端與所述析出盒的所述入氣口連通;以及一抽氣裝置,與所述析出盒的所述出氣口連通;所述抽氣裝置將所述氣態(tài)硅氧化物抽離所述坩堝,以使所述氣態(tài)硅氧化物與所述析出盒的內壁及所述至少一個隔板的表面接觸以析出一固態(tài)的硅氧化物;其中,所述至少一個隔板包含至少一個橫向隔板,所述至少一個橫向隔板是橫向設置于所述析出盒的內部空間中,并且與所述入氣口及所述出氣口之間的一軸線相交;其中,所述至少一個隔板的數(shù)量為多個,多個所述隔板包含至少一個縱向隔板,所述至少一個縱向隔板是縱向設置于所述析出盒的內部空間中,且所述至少一個縱向隔板與所述至少一個橫向隔板連接。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人中美矽晶制品股份有限公司,其通訊地址為:中國臺灣新竹科學園區(qū)新竹市工業(yè)東二路8號4樓;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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