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龍圖騰網恭喜陜西科技大學申請的專利一種透明掩模板及其制備方法和應用獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115497812B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211301150.7，技術領域涉及：H01L21/027；該發明授權一種透明掩模板及其制備方法和應用是由韓斌;王光輝;馬淑芳;許并社;穆涵香;劉博;王豆;胡雨設計研發完成，并于2022-10-24向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種透明掩模板及其制備方法和應用在說明書摘要公布了：本發明屬于半導體器件技術領域，具體涉及一種透明掩模板及其制備方法和應用，包括以下步驟：S1、在銅膠帶和熱釋放膠帶的中心打圓孔，并孔對孔將熱釋放膠帶和銅膠帶貼緊，之后在熱釋放膠帶一側貼PET膠帶，制得待加工樣品；S2、采用磁控濺射在S1待加工樣品中的PET膠帶表面鍍導電金屬薄膜；S3、采用聚焦離子束對圓孔中心掩模區域的PET膠帶進行粗加工至PET膠帶切透，得到預設掩模圖案的孔，再調整束流對孔進行細加工，得到PET掩模板；S4、腐蝕掉PET掩模板中的導電金屬薄膜，即制得透明掩模板；本發明制備周期極短，方法簡單，掩模板能多次重復使用，而且透明掩模板對后續的掩模板轉移對齊從而制備半導體器件十分便利。

本發明授權一種透明掩模板及其制備方法和應用在權利要求書中公布了：1.一種透明掩模板的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：S1、分別在銅膠帶和熱釋放膠帶的中心打圓孔，并孔對孔將熱釋放膠帶和銅膠帶貼緊，之后在熱釋放膠帶一側貼一層PET膠帶，制得待加工樣品；S2、采用磁控濺射工藝在S1待加工樣品中的PET膠帶表面鍍一層導電金屬薄膜；S3、將S2處理后的樣品置于聚焦離子束中，先繪制掩模圖案，之后對圓孔中心掩模區域的PET膠帶進行粗加工至PET膠帶切透，得到預設掩模圖案的孔，再調整束流對孔進行細加工，即得到PET掩模板；S4、腐蝕掉PET掩模板中的導電金屬薄膜，即制得透明掩模板。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人陜西科技大學，其通訊地址為：710021 陜西省西安市未央大學園區；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。