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龍圖騰網恭喜同濟大學;中國計量科學研究院申請的專利一種基于光頻梳偏頻鎖定波長的鉻原子光刻光柵制備方法及裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN118884591B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411168208.4，技術領域涉及：G02B5/18；該發明授權一種基于光頻梳偏頻鎖定波長的鉻原子光刻光柵制備方法及裝置是由鄧曉;程鑫彬;王建波;殷聰;李同保;薛棟柏;周通;肖光旭;沈俊宇;尹志珺設計研發完成，并于2024-08-23向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種基于光頻梳偏頻鎖定波長的鉻原子光刻光柵制備方法及裝置在說明書摘要公布了：本發明公開了一種基于光頻梳偏頻鎖定波長的鉻原子光刻光柵制備方法及裝置，涉及原子光刻技術領域，裝置中光學頻率梳的輸出端與倍頻光路連接；連續可調諧激光器的輸出端與保偏光纖分束器的輸入端連接；倍頻光路和和保偏光纖分束器的第一輸出端分別與光纖合束器的輸入端連接；保偏光纖合束器的輸出端與拍頻檢測光路的輸入端連接；拍頻檢測光路的輸出端通過光電接收器與功分器的輸入端連接；頻率計數器的輸入端與功分器的第一輸出端連接；偏頻鎖定系統的輸入端與功分器的第二輸出端連接；偏頻鎖定系統的輸出端與連續可調諧激光器的控制輸入端連接，本發明在實現原子光刻光柵尺寸拓展的同時保證了光柵的高衍射效率。

本發明授權一種基于光頻梳偏頻鎖定波長的鉻原子光刻光柵制備方法及裝置在權利要求書中公布了：1.一種基于光頻梳偏頻鎖定波長的鉻原子光刻光柵制備裝置，其特征在于，包括，光學頻率梳，連續可調諧激光器，倍頻光路，保偏光纖分束器，保偏光纖合束器，拍頻檢測光路，功分器，頻率計數器，偏頻鎖定系統以及原子光刻沉積系統；所述光學頻率梳的輸出端與所述倍頻光路連接；所述連續可調諧激光器的輸出端與所述保偏光纖分束器的輸入端連接；所述連續可調諧激光器的輸出端一側依次設置有第二半波片和第二耦合器；所述倍頻光路和和所述保偏光纖分束器的第一輸出端分別與所述光纖合束器的輸入端連接；所述保偏光纖合束器的輸出端與所述拍頻檢測光路的輸入端連接；所述拍頻檢測光路的輸出端通過光電接收器與所述功分器的輸入端連接；所述頻率計數器的輸入端與所述功分器的第一輸出端連接；所述偏頻鎖定系統的輸入端與所述功分器的第二輸出端連接；所述偏頻鎖定系統的輸出端與所述連續可調諧激光器的控制輸入端連接；所述原子光刻沉積系統在真空環境下將金屬粉末加熱至升華狀態并以泄流方式引出鉻原子束，并對所述鉻原子束進行準直，準直后的鉻原子束經過激光會聚駐波場進行空間周期性分布調控，周期性排布原子沉積于基板上，形成原子光刻光柵結構；所述原子光刻沉積系統通過一狹縫或一橫向激光光場以實現鉻原子束的準直；所述原子光刻沉積系統會聚光與基板的切光比例為10％～50％；所述原子光刻沉積系統所用基板包括單晶硅、微晶玻璃或磷化銦材料；所述基于光頻梳偏頻鎖定波長的鉻原子光刻光柵制備裝置通過一種基于光頻梳偏頻鎖定波長的鉻原子光刻光柵制備方法實現制備過程，包括以下步驟：S1、基于偏頻鎖定技術，搭建拍頻光路，研制偏頻鎖定系統，將425.5nm連續激光嚴格鎖定到可溯源至高準確度時間頻率參考的光學頻率梳；S2、固定改變偏頻鎖定值，基于原子光刻技術，采用鉻原子束和激光會聚駐波場的相互作用，在基板上進行一次原子光刻，獲得原子光刻光柵樣板；S3、循環執行若干次S2；S4、通過表征各樣板的形貌，確定原子光刻實驗最佳的激光偏頻鎖定值，結合拼接原子光刻光柵方法制備高衍射效率的大面積原子光刻光柵。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人同濟大學;中國計量科學研究院，其通訊地址為：200092 上海市楊浦區四平路1239號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。