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龍圖騰網恭喜北京理工大學申請的專利一種大口徑工作臺移相干涉面形測量裝置及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111442740B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010428628.7，技術領域涉及：G01B11/24；該發明授權一種大口徑工作臺移相干涉面形測量裝置及方法是由趙維謙;楊帥;邱麗榮設計研發完成，并于2020-05-20向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種大口徑工作臺移相干涉面形測量裝置及方法在說明書摘要公布了：本發明涉及一種大口徑工作臺移相干涉面形測量裝置及方法，旨在解決現有大口徑干涉儀難以精確移相、甚至無法移相的難題。本裝置通過單個壓電陶瓷以小推力驅動低摩擦重載工作臺沿直線導軌運動，進而帶動固定在工作臺上的大口徑光學元件完成移相；通過三個位移傳感器實時、高動態地監測工作臺的俯仰和偏擺，進而推算出光學元件的平移和傾斜移相誤差，并將其帶入消傾斜移相算法，最終從移相干涉圖中精確提取出待測面形結果。本裝置及方法不僅機械結構簡單、成本低，而且測量精度不受1元件口徑和重量，2工作臺俯仰和偏擺等運動誤差，3波長調諧所導致的色差和4干涉腔長度等因素的影響。本裝置及方法為大口徑移相干涉測量提供了一條高精度、低成本的簡便可行途徑。

本發明授權一種大口徑工作臺移相干涉面形測量裝置及方法在權利要求書中公布了：1.一種大口徑工作臺移相干涉面形測量方法，其特征在于：所述測量方法依托于一種大口徑工作臺移相干涉面形測量裝置實現，所述裝置包括小口徑干涉儀主機、擴束系統、大口徑準直鏡、透射平晶、被測平晶、大口徑調整架、低摩擦重載工作臺、傳感器監測平板、直線導軌、壓電陶瓷、傳感器工作臺、傳感器固定架、位移傳感器A、位移傳感器B和位移傳感器C；小口徑干涉儀主機出射的準直光束被擴束系統擴束成大口徑測量光，透射平晶固定在擴束系統上，被測平晶通過大口徑調整架固定在低摩擦重載工作臺上；大口徑測量光經過透射平晶后被被測平晶沿原路反射，再次經過透射平晶后進入擴束系統及小口徑干涉儀主機；低摩擦重載工作臺及傳感器工作臺均可沿直線導軌運動，傳感器工作臺可與直線導軌鎖緊固定；壓電陶瓷固定在傳感器工作臺上，其與低摩擦重載工作臺之間通過球頭接觸并被預緊；移相測量過程中，傳感器工作臺與直線導軌鎖緊固定，低摩擦重載工作臺被壓電陶瓷驅動沿直線導軌無爬行地運動，進而帶動被測平晶完成移相；傳感器監測平板固定在低摩擦重載工作臺上，傳感器支架固定在傳感器工作臺上，其上配置有三個位移傳感器以實時、高動態地監測移相過程中傳感器監測平板上三個局部位置的位移，進而推算出被測平晶的平移和傾斜移相誤差，并以此精確求解待測面形；所述位移傳感器包括接觸式位移傳感器和非接觸式位移傳感器；所述低摩擦重載工作臺包括液壓工作臺、氣浮工作臺、精密滾珠工作臺和磁懸浮工作臺；所述一種大口徑工作臺移相干涉面形測量方法的測量步驟如下：步驟一、打開小口徑干涉儀主機，依次裝卡透射平晶和被測平晶，調整各平晶的姿態直至主控計算機中觀察到干涉條紋；步驟二、主控計算機輸出非線性遞增的模擬電壓信號，以控制壓電陶瓷等間距地伸長，進而驅動低摩擦重載工作臺及被測平晶實現定步長移相；步驟三、主控計算機采集移相干涉圖，同時高速采集三個位移傳感器的測量數據；步驟四、從三個位移傳感器的測量數據中推算出平移和傾斜移相誤差的大小和方向，將其帶入消傾斜移相干涉算法并最終計算面形測量結果。

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