東京毅力科創株式會社田島直樹獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利基板處理裝置用過濾器裝置和清潔空氣供給方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112485982B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010916170.X，技術領域涉及：G03F7/30；該發明授權基板處理裝置用過濾器裝置和清潔空氣供給方法是由田島直樹;飛松武志設計研發完成，并于2020-09-03向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板處理裝置用過濾器裝置和清潔空氣供給方法在說明書摘要公布了：本發明提供基板處理裝置用過濾器裝置和清潔空氣供給方法。使經由過濾器對多個并列配置的基板處理裝置供給的清潔空氣的溫度均勻。過濾器裝置具有在并列地配置的多個基板處理裝置的上方設置的過濾器，該過濾器裝置構成為：在所述過濾器的上方形成的管空間的在所述基板處理裝置的并列方向上的一端部側形成有空氣流入口，自所述空氣流入口流入的空氣被在上下方向上分隔所述管空間的氣流引導構件從所述氣流引導構件的前面側向所述管空間的另一端部側引導，被引導到所述另一端部側的空氣的至少一部分向所述氣流引導構件的背面側返回，并且，該過濾器裝置構成為：所述管空間內的空氣經由所述過濾器向所述基板處理裝置流動。
本發明授權基板處理裝置用過濾器裝置和清潔空氣供給方法在權利要求書中公布了：1.一種基板處理裝置用過濾器裝置，其具有在并列地配置的多個基板處理裝置的上方設置的過濾器，其中，該基板處理裝置用過濾器裝置構成為：在所述過濾器的上方形成的管空間的在所述基板處理裝置的并列方向上的一端部側形成有空氣流入口，自所述空氣流入口流入的空氣被在上下方向上分隔所述管空間的氣流引導構件從所述氣流引導構件的前面側向所述管空間的另一端部側引導，被引導到所述另一端部側的空氣的至少一部分向所述氣流引導構件的背面側返回，并且，該基板處理裝置用過濾器裝置構成為：所述管空間內的所述氣流引導構件的前面側的空氣和所述氣流引導構件的背面側的空氣隨著從該管空間經由所述過濾器向下方的所述基板處理裝置流動而混合。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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