恭喜朗姆研究公司朱濟(jì)獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜朗姆研究公司申請的專利高深寬比結(jié)構(gòu)的有效率的清潔和蝕刻獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN112335016B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：201980039739.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/02；該發(fā)明授權(quán)高深寬比結(jié)構(gòu)的有效率的清潔和蝕刻是由朱濟(jì);馬克·卡瓦古奇;南森·馬塞爾懷特設(shè)計研發(fā)完成，并于2019-06-07向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本高深寬比結(jié)構(gòu)的有效率的清潔和蝕刻在說明書摘要公布了：一種處理襯底的方法包含：將襯底設(shè)置在處理室中。將汽化溶劑和包含所述溶劑的氣體混合物中的至少一者供應(yīng)至所述處理室，以在所述襯底的暴露表面上形成所述溶劑的保形液體層。將所述汽化溶劑及所述氣體混合物中的所述至少一者從所述處理室中移除。將包含鹵素物質(zhì)的反應(yīng)性氣體供應(yīng)至所述處理室。所述保形液體層吸附所述反應(yīng)性氣體以形成反應(yīng)性液體層，所述反應(yīng)性液體層對所述襯底的所述暴露表面進(jìn)行蝕刻。
本發(fā)明授權(quán)高深寬比結(jié)構(gòu)的有效率的清潔和蝕刻在權(quán)利要求書中公布了：1.一種處理襯底的方法，其包含：a將襯底設(shè)置在處理室中；以及b同時將汽化溶劑和包含鹵素物質(zhì)的反應(yīng)性氣體供應(yīng)至所述處理室，以在所述襯底的暴露表面上形成保形液體層；其中所述保形液體層吸附所述反應(yīng)性氣體以形成反應(yīng)性液體層，所述反應(yīng)性液體層對所述襯底的所述暴露表面進(jìn)行蝕刻，形成氣態(tài)的副產(chǎn)物而不會形成殘余物；以及其中所述反應(yīng)性液體層以在10埃min至100埃min的范圍內(nèi)的蝕刻速率對所述暴露表面進(jìn)行蝕刻。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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1、本報告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
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