恭喜科福羅有限公司阿隆·西格爾獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜科福羅有限公司申請的專利圓形晶片橫向定位裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN113557599B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202080020552.2,技術領域涉及:H01L21/687;該發明授權圓形晶片橫向定位裝置是由阿隆·西格爾;丹尼爾·亞希德斯;雅各布·勒格鮑姆設計研發完成,并于2020-03-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本圓形晶片橫向定位裝置在說明書摘要公布了:一種晶片定位裝置,包括:至少一個固定止動件,定位在卡盤表面上的夾持位置的周邊處;以及可伸長的指狀物。指狀延伸機構朝向卡盤表面的中心向外延伸指狀物,并且遠離卡盤表面的中心縮回指狀物。當晶片放置在卡盤表面上并且指狀延伸機構操作以向外延伸指狀物時,指狀物配置為朝向固定止動件橫向地推動晶片,直到當指狀物的遠端在夾持位置的周邊處時晶片的邊緣接觸固定止動件。
本發明授權圓形晶片橫向定位裝置在權利要求書中公布了:1.一種晶片定位裝置,包括:至少一個固定止動件,定位在卡盤表面上的夾持位置的周邊處;能伸長的指狀物;以及指狀延伸機構,用于朝向所述卡盤表面的中心向外延伸所述指狀物,以及遠離所述卡盤表面的中心縮回所述指狀物,其中,當晶片放置在所述卡盤表面上并且所述指狀延伸機構操作以向外延伸所述指狀物時,所述指狀物配置為朝向所述至少一個固定止動件橫向地推動所述晶片,直到當所述指狀物的遠端在所述夾持位置的周邊處時所述晶片的邊緣接觸所述至少一個固定止動件,其中,所述指狀延伸機構包括能旋轉的臂和用于旋轉所述臂的旋轉機構,所述指狀物附接到所述臂,使得所述旋轉機構在一個方向上旋轉所述臂的操作朝向所述卡盤表面的中心向外延伸所述指狀物,并且所述旋轉機構在相反方向上旋轉所述臂的操作遠離所述卡盤表面的中心縮回所述指狀物,其中,所述旋轉機構是氣動地操作的,并且其中,所述旋轉機構連接到兩個氣動入口,其中,施加壓縮氣體到所述氣動入口中的一個氣動入口導致所述旋轉機構在一個方向上旋轉所述臂,并且施加壓縮氣體到另一個氣動入口導致所述旋轉機構在相反方向上旋轉所述臂。
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