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龍圖騰網(wǎng)恭喜科福羅有限公司申請的專利圓形晶片橫向定位裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN113557599B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202080020552.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/687；該發(fā)明授權(quán)圓形晶片橫向定位裝置是由阿隆·西格爾;丹尼爾·亞希德斯;雅各布·勒格鮑姆設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-03-11向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本圓形晶片橫向定位裝置在說明書摘要公布了：一種晶片定位裝置，包括：至少一個固定止動件，定位在卡盤表面上的夾持位置的周邊處；以及可伸長的指狀物。指狀延伸機構(gòu)朝向卡盤表面的中心向外延伸指狀物，并且遠離卡盤表面的中心縮回指狀物。當晶片放置在卡盤表面上并且指狀延伸機構(gòu)操作以向外延伸指狀物時，指狀物配置為朝向固定止動件橫向地推動晶片，直到當指狀物的遠端在夾持位置的周邊處時晶片的邊緣接觸固定止動件。

本發(fā)明授權(quán)圓形晶片橫向定位裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶片定位裝置，包括：至少一個固定止動件，定位在卡盤表面上的夾持位置的周邊處；能伸長的指狀物；以及指狀延伸機構(gòu)，用于朝向所述卡盤表面的中心向外延伸所述指狀物，以及遠離所述卡盤表面的中心縮回所述指狀物，其中，當晶片放置在所述卡盤表面上并且所述指狀延伸機構(gòu)操作以向外延伸所述指狀物時，所述指狀物配置為朝向所述至少一個固定止動件橫向地推動所述晶片，直到當所述指狀物的遠端在所述夾持位置的周邊處時所述晶片的邊緣接觸所述至少一個固定止動件，其中，所述指狀延伸機構(gòu)包括能旋轉(zhuǎn)的臂和用于旋轉(zhuǎn)所述臂的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，所述指狀物附接到所述臂，使得所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)在一個方向上旋轉(zhuǎn)所述臂的操作朝向所述卡盤表面的中心向外延伸所述指狀物，并且所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)在相反方向上旋轉(zhuǎn)所述臂的操作遠離所述卡盤表面的中心縮回所述指狀物，其中，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)是氣動地操作的，并且其中，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)連接到兩個氣動入口，其中，施加壓縮氣體到所述氣動入口中的一個氣動入口導(dǎo)致所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)在一個方向上旋轉(zhuǎn)所述臂，并且施加壓縮氣體到另一個氣動入口導(dǎo)致所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)在相反方向上旋轉(zhuǎn)所述臂。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人科福羅有限公司，其通訊地址為：以色列達利亞特；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。