株式會社斯庫林集團堀越章獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉株式會社斯庫林集團申請的專利基板處理方法以及基板處理裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112631089B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010877538.6，技術領域涉及：G03F7/42；該發明授權基板處理方法以及基板處理裝置是由堀越章;中村昭平;高辻茂;河野元宏;木村貴弘;小林健司設計研發完成，并于2020-08-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板處理方法以及基板處理裝置在說明書摘要公布了：本發明提供一種能夠有效率地進行利用了處理液的氧化力的基板處理的基板處理方法以及基板處理裝置。在基板SB上形成含有硫酸、硫酸鹽、過氧硫酸及過氧硫酸鹽中的至少任一種的處理液或含有過氧化氫的處理液的液膜LQ。對液膜LQ照射等離子體PL。
本發明授權基板處理方法以及基板處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種基板處理方法，包括：在基板上形成含有硫酸、硫酸鹽、過氧硫酸及過氧硫酸鹽中的至少任一種的處理液或含有過氧化氫的處理液的液膜的工序；以及向所述液膜照射等離子體而在所述液膜中產生自由基的工序，照射所述等離子體的工序包括：通過向氣氛中的第一電極及第二電極施加電壓，使所述氣氛等離子體化來生成等離子體的工序；以及靜態地保持所述等離子體中的所述氣氛的工序。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社斯庫林集團，其通訊地址為：日本京都府京都市上京區堀川通寺之內上4丁目天神北町1番地之1；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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