恭喜三井化學株式會社石川彰獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜三井化學株式會社申請的專利防護膜組件的拆卸方法及防護膜組件的拆卸裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114641724B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080076341.0，技術領域涉及：G03F1/62；該發明授權防護膜組件的拆卸方法及防護膜組件的拆卸裝置是由石川彰;高村一夫設計研發完成，并于2020-12-10向國家知識產權局提交的專利申請。
本防護膜組件的拆卸方法及防護膜組件的拆卸裝置在說明書摘要公布了：本發明的目的在于提供光掩模的污染的抑制性優異的防護膜組件的拆卸方法。提供一種防護膜組件的拆卸方法，其包括下述工序：準備層疊體的工序，所述層疊體按下述順序的配置具備光掩模805、防護膜組件框803以及防護膜802；準備電極810的工序；以及拆卸工序，將層疊體和電極810以使層疊體中的防護膜802與電極810對置的方式進行配置，并且通過對于電極810施加電壓，從而產生靜電引力，通過所產生的靜電引力將防護膜802向電極810的方向吸引，從而從層疊體中的光掩模805拆卸防護膜802。
本發明授權防護膜組件的拆卸方法及防護膜組件的拆卸裝置在權利要求書中公布了：1.一種防護膜組件的拆卸方法，其包括下述工序：準備層疊體的工序，所述層疊體按下述順序的配置具備光掩模、防護膜組件框以及防護膜；準備電極的工序；以及拆卸工序，通過將所述層疊體和所述電極以使所述層疊體中的所述防護膜與所述電極對置的方式進行配置，并且對于所述電極施加電壓，從而產生靜電引力，通過所產生的所述靜電引力將所述防護膜向所述電極的方向吸引，從而從所述層疊體中的所述光掩模上拆卸所述防護膜。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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