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龍圖騰網(wǎng)恭喜三井化學(xué)株式會社申請的專利防護(hù)膜組件的拆卸方法及防護(hù)膜組件的拆卸裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114641724B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202080076341.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F1/62；該發(fā)明授權(quán)防護(hù)膜組件的拆卸方法及防護(hù)膜組件的拆卸裝置是由石川彰;高村一夫設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-12-10向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本防護(hù)膜組件的拆卸方法及防護(hù)膜組件的拆卸裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明的目的在于提供光掩模的污染的抑制性優(yōu)異的防護(hù)膜組件的拆卸方法。提供一種防護(hù)膜組件的拆卸方法，其包括下述工序：準(zhǔn)備層疊體的工序，所述層疊體按下述順序的配置具備光掩模805、防護(hù)膜組件框803以及防護(hù)膜802；準(zhǔn)備電極810的工序；以及拆卸工序，將層疊體和電極810以使層疊體中的防護(hù)膜802與電極810對置的方式進(jìn)行配置，并且通過對于電極810施加電壓，從而產(chǎn)生靜電引力，通過所產(chǎn)生的靜電引力將防護(hù)膜802向電極810的方向吸引，從而從層疊體中的光掩模805拆卸防護(hù)膜802。

本發(fā)明授權(quán)防護(hù)膜組件的拆卸方法及防護(hù)膜組件的拆卸裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種防護(hù)膜組件的拆卸方法，其包括下述工序：準(zhǔn)備層疊體的工序，所述層疊體按下述順序的配置具備光掩模、防護(hù)膜組件框以及防護(hù)膜；準(zhǔn)備電極的工序；以及拆卸工序，通過將所述層疊體和所述電極以使所述層疊體中的所述防護(hù)膜與所述電極對置的方式進(jìn)行配置，并且對于所述電極施加電壓，從而產(chǎn)生靜電引力，通過所產(chǎn)生的所述靜電引力將所述防護(hù)膜向所述電極的方向吸引，從而從所述層疊體中的所述光掩模上拆卸所述防護(hù)膜。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人三井化學(xué)株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。