恭喜廣東柏茲電子科技有限公司胡呈祥獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜廣東柏茲電子科技有限公司申請的專利一種氣浮式調節探針臺獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN112505373B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202011498931.0,技術領域涉及:G01R1/067;該發明授權一種氣浮式調節探針臺是由胡呈祥;陳曉鋒設計研發完成,并于2020-12-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種氣浮式調節探針臺在說明書摘要公布了:本發明公開了一種氣浮式調節探針臺,包括機臺及設置于機臺上的顯微鏡及探針饋電單元,其特征在于:所述機臺的操作平臺上設有移動載物臺以及探針移動控制座,該移動載物臺的底部設有氣浮軸承,所述移動載物臺上設有支撐軸及與支撐軸轉動配合的且能夠升降的旋轉升降結構,所述探針移動控制座上設有安裝板、X向調節機構、Y向調節機構及Z向調節機構,且所述探針饋電單元設置于安裝板上,所述旋轉升降結構上設有用于放置測試元件的載物板,所述安裝板通過X向調節機構、Y向調節機構及Z向調節機構帶動使探針饋電單元的探針與測試元件接觸導通。
本發明授權一種氣浮式調節探針臺在權利要求書中公布了:1.一種氣浮式調節探針臺,包括機臺及設置于機臺上的顯微鏡及探針饋電單元,其特征在于:所述機臺的操作平臺上設有移動載物臺以及探針移動控制座,該移動載物臺的底部設有氣浮軸承,所述移動載物臺上設有支撐軸及與支撐軸轉動配合的且能夠升降的旋轉升降結構,所述探針移動控制座上設有安裝板、X向調節機構、Y向調節機構及Z向調節機構,且所述探針饋電單元設置于安裝板上,所述旋轉升降結構上設有用于放置測試元件的載物板,所述安裝板通過X向調節機構、Y向調節機構及Z向調節機構帶動使探針饋電單元的探針與測試元件接觸導通,所述旋轉升降結構包括支撐套筒及轉動座,所述支撐套筒通過滾珠套與支撐軸配合,所述轉動座通過軸承組件與支撐套筒連接,所述載物板與支撐套筒連接,所述轉動座上設有斜槽及手桿,所述移動載物臺上設有支板,該支板上設有位于斜槽中的導引柱,所述移動載物臺上設有角度微調機構,角度微調機構包括角度調節板、相對設置的調節支撐板、設置于一調節支撐板上的彈性頂桿及設置于另一調節支撐板上的角度調節桿,該角度調節板與支撐套筒連接,所述角度調節板位于彈性頂桿及角度調節桿間且與上述兩者接觸。
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