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龍圖騰網恭喜荌益國際有限公司申請的專利基板移轉方法及裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113903696B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011547785.6，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權基板移轉方法及裝置是由林柏育;陳正欽設計研發完成，并于2020-12-24向國家知識產權局提交的專利申請。

本基板移轉方法及裝置在說明書摘要公布了：本發明提供一種基板移轉方法及裝置，能解決晶圓擴片制程后、擴片鐵圈組所造成的厚度問題。將所述基板由一膠膜移轉到另一膠膜上，使用較薄的框架來置換所述晶圓擴片制程所使用的所述擴片鐵圈組，以利晶圓擴片后的后續制程。

本發明授權基板移轉方法及裝置在權利要求書中公布了：1.一種基板移轉方法，其特征在于，包括以下步驟：提供一第一工件，所述第一工件包括一基板、貼附于所述基板的一第一表面的一第一膠膜、以及環繞所述基板并且與所述第一膠膜結合的一第一框架；放置所述第一工件于一固定平臺及一升降平臺上，所述升降平臺環繞所述固定平臺設置，對應所述基板的所述第一表面的部分所述第一膠膜位于所述固定平臺上，所述第一框架位于所述升降平臺上；操作所述升降平臺，以調整所述升降平臺與所述固定平臺之間的一高度差，所述第一框架跟隨所述升降平臺升降，使得所述第一膠膜不翹曲；切割對應所述固定平臺與所述升降平臺之間的一間隙的部分所述第一膠膜；取下包括部分所述第一膠膜的所述第一框架；放置一第二框架于所述升降平臺；操作所述升降平臺，以調整所述升降平臺與所述固定平臺之間的所述高度差，所述第二框架跟隨所述升降平臺升降，使得所述第二框架相對所述升降平臺的表面與所述基板相對所述第一表面的一第二表面共平面；以及貼附一第二膠膜于所述基板的所述第二表面及所述第二框架相對所述升降平臺的表面，以形成包括所述基板、部分所述第一膠膜、所述第二膠膜、以及所述第二框架的一第二工件；放置所述第二工件于所述固定平臺及所述升降平臺上，對應所述基板的所述第二表面的部分所述第二膠膜位于所述固定平臺上，對應所述第二框架的部分所述第二膠膜位于所述升降平臺上；撕除貼附于所述基板的所述第一表面的部分所述第一膠膜；切割對應所述固定平臺與所述升降平臺之間的所述間隙的部分所述第二膠膜。

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