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龍圖騰網(wǎng)恭喜中國科學院長春光學精密機械與物理研究所申請的專利超薄晶圓的傳送裝置及方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115722998B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202211640859.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B24B7/22；該發(fā)明授權(quán)超薄晶圓的傳送裝置及方法是由成明;趙東旭;王云鵬;王飛;范翊;姜洋設計研發(fā)完成，并于2022-12-20向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本超薄晶圓的傳送裝置及方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種超薄晶圓的傳送裝置，包括：兩條平行設置的滑道，滑道的兩端設置有擋板，擋板用于與晶圓研磨機固定，每條滑道上分別套有連接管，連接管的外側(cè)分別固定有至少一個手柄，連接管的內(nèi)側(cè)固定有載物片，載物片的水平位置低于連接管的水平位置，載物片具有可拆卸功能。超薄晶圓的傳送方法是通過載物片承接因水流浮起的晶圓，通過超薄晶圓的傳送裝置將晶圓取出。本發(fā)明有效解決了在晶圓研磨機完成晶圓大幅度背部減薄后無法安全取出的問題，可實現(xiàn)將單片厚度在50μm以下的晶圓安全取出，同時，載物片具有可拆卸功能，可直接將帶有減薄晶圓的載物片放入晶圓鍵合機中，作為底部晶圓與其他晶圓直接進行鍵合。

本發(fā)明授權(quán)超薄晶圓的傳送裝置及方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種超薄晶圓的傳送方法，應用于晶圓研磨機對晶圓的減薄過程，其特征在于，包括以下步驟：S1、在待減薄的晶圓的非減薄面貼上UV保護膜，放入晶圓研磨機完成晶圓減薄及拋光；S2、調(diào)整晶圓研磨機對晶圓的真空吸附能力，保證晶圓可在浮力作用下浮起；S3、將超薄晶圓的傳送裝置固定在晶圓研磨機上，超薄晶圓的傳送裝置包括：滑道、手柄、擋板、連接管和載物片；所述滑道為兩條，且平行設置，所述滑道的兩端設置有所述擋板，所述擋板用于與晶圓研磨機固定；每條所述滑道上分別套有所述連接管，所述連接管的外側(cè)分別固定有至少一個所述手柄，所述連接管的內(nèi)側(cè)定有所述載物片，所述載物片的水平位置低于所述連接管的水平位置，所述載物片具有可拆卸功能；S4、啟動噴水程序，使晶圓浮起，并通過手柄將載物片移動到晶圓下方；S5、關(guān)閉噴水程序，通過載物片將晶圓取出；S6、采用UV燈對所述UV保護膜進行解膠去除，完成減薄后晶圓的傳送。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人中國科學院長春光學精密機械與物理研究所，其通訊地址為：130033 吉林省長春市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)東南湖大路3888號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。