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龍圖騰網恭喜HOYA株式會社申請的專利光掩模及顯示裝置的制造方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113009777B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110239537.3，技術領域涉及：G03F1/62；該發明授權光掩模及顯示裝置的制造方法是由山口昇設計研發完成，并于2017-05-12向國家知識產權局提交的專利申請。

本光掩模及顯示裝置的制造方法在說明書摘要公布了：本發明提供光掩模及顯示裝置的制造方法。在制造具有包括遮光部、半透光部及透光部的轉印用圖案的光掩模時，準備在透明基板1上層疊了半透光膜2、中間膜3及遮光膜4而成的光掩模坯體，通過蝕刻將成為遮光部的區域以外的區域的遮光膜4去除，然后形成抗蝕劑膜6。接著，對抗蝕劑膜6進行描畫及顯影而形成了抗蝕劑圖案6a，然后通過蝕刻將半透光膜2去除。半透光膜2和遮光膜4都由Cr類材料形成，在將與透光部及半透光部分別相鄰的遮光部設為中間遮光部時，在抗蝕劑圖案形成工序中形成具有開口的抗蝕劑圖案6a，該開口的尺寸相對于與中間遮光部相鄰的透光部的設計尺寸Aμm，在與中間遮光部相鄰的邊緣側每一側增加了裕量αμm。

本發明授權光掩模及顯示裝置的制造方法在權利要求書中公布了：1.一種光掩模，該光掩模具有轉印用圖案，該轉印用圖案是通過對形成于透明基板上的遮光膜及半透光膜分別進行圖案形成而形成的，具有遮光部、半透光部及透光部，其特征在于，所述轉印用圖案包括與所述透光部及所述半透光部分別相鄰的所述遮光部，在所述遮光部中，在所述透明基板上形成有半透光膜、中間膜及遮光膜，在所述半透光部中，在所述透明基板上形成有所述半透光膜、或者所述半透光膜和中間膜，當將所述透明基板的、至少形成有所述半透光膜的面設為主表面時，在所述透光部，所述主表面露出，所述遮光膜和所述半透光膜由能夠利用相同的蝕刻劑進行蝕刻的材料形成，所述半透光部對曝光光束代表波長的透射率為5％～60％，在將與所述透光部及所述半透光部分別相鄰的所述遮光部設為中間遮光部時，在所述中間遮光部中形成有凹部，該凹部中的所述遮光膜的膜厚在與所述透光部相鄰的邊緣側小于與所述半透光部相鄰的邊緣側，所述凹部的深度為所述凹部以外的遮光膜的厚度為所述透明基板的厚度在所述透光部、所述半透光部以及所述遮光部處均相同。

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