恭喜合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司李廣耀獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司申請的專利陣列基板母板及其制備方法、陣列基板和顯示裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN111384068B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202010203759.5,技術領域涉及:H10D86/60;該發明授權陣列基板母板及其制備方法、陣列基板和顯示裝置是由李廣耀;王東方;成軍;汪軍;王慶賀;閆梁臣設計研發完成,并于2020-03-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本陣列基板母板及其制備方法、陣列基板和顯示裝置在說明書摘要公布了:本申請提供一種陣列基板母板及其制備方法、陣列基板和顯示裝置,涉及顯示技術領域,能夠提前對陣列基板中柵極驅動電路進行檢測。其中的陣列基板母板,包括:襯底母板。設置在襯底母板上的多個顯示用單元,一個顯示用單元具有顯示區和非顯示區,非顯示區至少部分圍繞顯示區。其中,顯示用單元包括:設置于非顯示區的柵極驅動電路、檢測線和檢測部,柵極驅動電路的至少一個輸出端通過檢測線與檢測部電連接。
本發明授權陣列基板母板及其制備方法、陣列基板和顯示裝置在權利要求書中公布了:1.一種陣列基板母板的制備方法,其特征在于,包括:在襯底母板上形成多個顯示用單元,一個顯示用單元具有顯示區和非顯示區,所述非顯示區至少部分圍繞所述顯示區;形成所述顯示用單元包括:在襯底母板上所述顯示用單元的非顯示區內形成柵極驅動電路,所述柵極驅動電路包括多個相互連接的薄膜晶體管;形成所述柵極驅動電路包括:在襯底母板上形成第一導電薄膜,所述第一導電薄膜用于形成所述薄膜晶體管的源極、漏極和第二檢測圖案;在形成有柵極驅動電路的襯底母板上形成絕緣層,所述絕緣層包括位于非顯示區的第一過孔,且覆蓋所述柵極驅動電路;在絕緣層上形成第二導電薄膜,通過構圖工藝,在所述非顯示區形成檢測線和第一檢測圖案;所述第一檢測圖案、第二檢測圖案,以及位于所述第一檢測圖案和所述第二檢測圖案之間的部分絕緣層構成檢測部;其中,所述柵極驅動電路的至少一個輸出端通過所述檢測線與所述第一檢測圖案電連接,所述柵極驅動電路的輸出端用于與柵線電連接,所述柵極驅動電路用于向所述柵線傳輸柵極驅動信號;所述檢測部為多個,其中部分所述檢測部與所述柵極驅動電路的輸入端電連接,并被配置為:為所述柵極驅動電路提供檢測信號;部分所述檢測部與所述檢測線電連接,并被配置為:接收從所述檢測線傳輸的信號;所述第二導電薄膜還用于形成位于所述顯示用單元中的顯示區的陽極層,所述陽極層用于形成多個陽極圖案;通過所述第二導電薄膜形成所述檢測線、所述第一檢測圖案和所述陽極圖案包括:在所述第二導電薄膜上涂覆光刻膠形成光刻膠層;通過掩膜曝光,在所述光刻膠層中對應所述第二導電薄膜中待形成檢測線的區域,形成半曝光圖案和全曝光圖案;在對應待形成第一檢測圖案的區域,形成未曝光圖案和所述半曝光圖案;在對應待形成陽極層的區域形成所述未曝光圖案和所述半曝光圖案;通過顯影去除所述全曝光圖案,以露出所述第二導電薄膜中所述待形成檢測線的區域的部分;通過顯影去除所述半曝光圖案中的部分光刻膠;通過刻蝕工藝,去除所述全曝光圖案露出的待形成檢測線的區域的部分,形成所述檢測線;通過灰化工藝,去除所述半曝光圖案中剩余的部分光刻膠,以露出所述檢測線、露出所述第一檢測圖案的部分、露出所述陽極層的部分,以及去除所述全曝光圖案中的部分光刻膠;通過刻蝕工藝,去除所述檢測線,去除所述第一檢測圖案中露出的部分,以及去除所述陽極層中露出的部分,形成多個陽極圖案。
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