恭喜臺灣積體電路制造股份有限公司江芳彬獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜臺灣積體電路制造股份有限公司申請的專利閥箱模塊、半導體器件制造系統及制造半導體器件的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114923124B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210137192.5，技術領域涉及：F17D1/04；該發明授權閥箱模塊、半導體器件制造系統及制造半導體器件的方法是由江芳彬;曾恒毅;賴啟棟;鄧順展;陳泓杰設計研發完成，并于2022-02-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本閥箱模塊、半導體器件制造系統及制造半導體器件的方法在說明書摘要公布了：本發明實施例涉及一種半導體器件制造系統及一種用于制造半導體器件的方法。所述半導體器件制造系統包括閥箱模塊、控制器、凈化氣體源及至少一半導體制造工具。所述閥箱模塊包含至少一桿及與所述至少一桿流體連通的第一氣體管線。此外，所述第一氣體管線包含氣動閥及所述氣動閥下游的壓力傳輸器。所述控制器連接到所述第一氣體管線的所述氣動閥及所述壓力傳輸器。所述凈化氣體源與所述第一氣體管線流體連通。所述至少一半導體制造工具耦合到所述至少一桿。
本發明授權閥箱模塊、半導體器件制造系統及制造半導體器件的方法在權利要求書中公布了：1.一種用于半導體器件制造系統的閥箱模塊，其包括：至少一桿；及第一氣體管線，其與所述至少一桿流體連通且經配置以將凈化氣體供應到所述至少一桿中；其中所述第一氣體管線包括氣動閥及所述氣動閥下游的壓力傳輸器，且其中所述氣動閥設置在凈化氣體源與所述壓力傳輸器之間，所述氣動閥經配置以與所述壓力傳輸器配合；其中所述第一氣體管線與所述至少一桿在接合點相連接，所述壓力傳輸器設置在所述氣動閥與所述接合點之間；位于用來供應所述凈化氣體的所述第一氣體管線中的所述壓力傳輸器用以檢測所述至少一桿持續被抽氣時的壓力值；設置在所述凈化氣體源與所述壓力傳輸器之間的所述氣動閥，用以回應所述壓力傳輸器于所述至少一桿持續被抽氣時檢測到的所述壓力值，交替打開和關閉。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人臺灣積體電路制造股份有限公司，其通訊地址為：中國臺灣新竹市新竹科學工業園力行六路8號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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