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龍圖騰網(wǎng)恭喜大連理工大學(xué)申請的專利一種等離子體源的模擬方法、系統(tǒng)、電子設(shè)備及存儲介質(zhì)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115510728B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-06發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202211156968.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06F30/25；該發(fā)明授權(quán)一種等離子體源的模擬方法、系統(tǒng)、電子設(shè)備及存儲介質(zhì)是由李京澤;張鈺如;高飛;王友年設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-09-21向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種等離子體源的模擬方法、系統(tǒng)、電子設(shè)備及存儲介質(zhì)在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種等離子體源的模擬方法、系統(tǒng)、電子設(shè)備及存儲介質(zhì)，涉及容性耦合等離子體源模擬技術(shù)領(lǐng)域，所述方法包括：將目標區(qū)域劃分為多個彼此相接的正交網(wǎng)格；確定待模擬容性耦合等離子體源的當(dāng)前時刻的電子的流動狀態(tài)參數(shù)和重粒子的流動狀態(tài)參數(shù)并確定當(dāng)前時刻的電子流體方程組、重粒子流體方程組和當(dāng)前時刻的離散形式靜電場方程；從而確定當(dāng)前時刻的電勢和電場強度以及下一時刻的電子的流動狀態(tài)參數(shù)和重粒子的流動狀態(tài)參數(shù)，滿足預(yù)設(shè)終止條件時，將第二設(shè)定時間段內(nèi)的流動狀態(tài)參數(shù)、電勢和電場強度確定為待模擬容性耦合等離子體源的模擬結(jié)果。本發(fā)明提高了容性耦合等離子體源的模擬效率。

本發(fā)明授權(quán)一種等離子體源的模擬方法、系統(tǒng)、電子設(shè)備及存儲介質(zhì)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種等離子體源的模擬方法，其特征在于，所述方法包括：將目標區(qū)域劃分為多個彼此相接的正交網(wǎng)格；所述目標區(qū)域包括待模擬容性耦合等離子體源的放電腔室和電介質(zhì)區(qū)域；確定所述待模擬容性耦合等離子體源在當(dāng)前時刻的電子的流動狀態(tài)參數(shù)和重粒子的流動狀態(tài)參數(shù)；所述電子的流動狀態(tài)參數(shù)包括密度和溫度，所述重粒子的流動狀態(tài)參數(shù)包括密度、流速和溫度；所述重粒子包括：離子和中性粒子；根據(jù)當(dāng)前時刻的電子的流動狀態(tài)參數(shù)確定當(dāng)前時刻的電子流體方程組；所述電子流體方程組包括：電子連續(xù)性方程和電子能量方程；根據(jù)當(dāng)前時刻的重粒子的流動狀態(tài)參數(shù)確定當(dāng)前時刻的重粒子流體方程組；所述重粒子流體方程組包括：重粒子連續(xù)性方程、重粒子動量方程和重粒子能量方程；根據(jù)當(dāng)前時刻的電子的流動狀態(tài)參數(shù)和當(dāng)前時刻的離子的流動狀態(tài)參數(shù)確定當(dāng)前時刻的靜電場方程；根據(jù)當(dāng)前時刻的電子的流動狀態(tài)參數(shù)、第一設(shè)定時間段的電子的流動狀態(tài)參數(shù)、當(dāng)前時刻的重粒子的流動狀態(tài)參數(shù)和第一設(shè)定時間段的重粒子的流動狀態(tài)參數(shù)，得到當(dāng)前時刻的超松弛加速參數(shù)；所述第一設(shè)定時間段為開始時間為第一時刻，所述第一設(shè)定時間段的截止時間為第二時刻，所述第一時刻為步驟“將目標區(qū)域劃分為多個彼此相接的正交網(wǎng)格”開始的時刻，所述第二時刻為上一時刻；結(jié)合超松弛加速方法，根據(jù)當(dāng)前時刻的電子的流動狀態(tài)參數(shù)、當(dāng)前時刻的重粒子的流動狀態(tài)參數(shù)和當(dāng)前時刻的超松弛加速參數(shù)，得到當(dāng)前時刻的電子的源項、當(dāng)前時刻的重粒子的源項、當(dāng)前時刻的電子的輸運系數(shù)和當(dāng)前時刻的重粒子的輸運系數(shù)；利用有限體積法和半隱式格式，將當(dāng)前時刻的靜電場方程進行離散，得到所述正交網(wǎng)格上的當(dāng)前時刻的離散形式靜電場方程；所述半隱式格式為對電子遷移擴散進行修正的半隱式格式；將當(dāng)前時刻的電子的流動狀態(tài)參數(shù)、當(dāng)前時刻的離子的流動狀態(tài)參數(shù)和當(dāng)前時刻的電子的輸運系數(shù)代入當(dāng)前時刻的離散形式靜電場方程中并求解，得到當(dāng)前時刻在所述正交網(wǎng)格上的電勢；根據(jù)當(dāng)前時刻在所述正交網(wǎng)格上的電勢計算當(dāng)前時刻在所述正交網(wǎng)格上的電場強度；利用有限體積法、迎風(fēng)格式和多步長顯式歐拉法，將當(dāng)前時刻的電子流體方程組離散，得到在所述正交網(wǎng)格上的當(dāng)前時刻的離散形式電子流體方程組；將當(dāng)前時刻的電子的流動狀態(tài)參數(shù)、當(dāng)前時刻的電子的源項、當(dāng)前時刻的電子的輸運系數(shù)、當(dāng)前時刻的電勢和當(dāng)前時刻的電場強度代入所述當(dāng)前時刻的離散形式電子流體方程組中，得到下一時刻的電子的流動狀態(tài)參數(shù)；利用有限體積法和單步長顯式歐拉法，將當(dāng)前時刻的重粒子流體方程組離散，得到在所述正交網(wǎng)格上的當(dāng)前時刻的離散形式重粒子流體方程組；將當(dāng)前時刻的重粒子的流動狀態(tài)參數(shù)、當(dāng)前時刻的重粒子的源項、當(dāng)前時刻的重粒子的輸運系數(shù)以及當(dāng)前時刻的電勢和當(dāng)前時刻的電場強度代入所述當(dāng)前時刻的離散形式重粒子流體方程組中，得到下一時刻的重粒子的流動狀態(tài)參數(shù)；判斷當(dāng)前時刻是否滿足預(yù)設(shè)終止條件；若滿足，則將第二設(shè)定時間段內(nèi)的所述電子的流動狀態(tài)參數(shù)、所述重粒子的流動狀態(tài)參數(shù)、所述電勢和所述電場強度確定為所述待模擬容性耦合等離子體源的模擬結(jié)果；所述第二設(shè)定時間段的開始時間為所述第一時刻，所述第二設(shè)定時間段的截止時間為第三時刻，所述第三時刻為滿足所述預(yù)設(shè)終止條件的時刻；若不滿足，則將當(dāng)前時刻的電子的流動狀態(tài)參數(shù)替換為下一時刻的電子的流動狀態(tài)參數(shù)，將當(dāng)前時刻的重粒子的流動狀態(tài)參數(shù)替換為下一時刻的重粒子的流動狀態(tài)參數(shù)，返回步驟“根據(jù)當(dāng)前時刻的電子的流動狀態(tài)參數(shù)確定當(dāng)前時刻的電子流體方程組”。

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