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龍圖騰網(wǎng)恭喜藍(lán)河科技(紹興)有限公司申請(qǐng)的專利半導(dǎo)體處理設(shè)備的控制方法和半導(dǎo)體處理設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119764224B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-02發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510258413.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體處理設(shè)備的控制方法和半導(dǎo)體處理設(shè)備是由王明輝;邢志剛;徐春陽;劉雷設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-03-06向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本半導(dǎo)體處理設(shè)備的控制方法和半導(dǎo)體處理設(shè)備在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體處理設(shè)備的控制方法和半導(dǎo)體處理設(shè)備，半導(dǎo)體處理設(shè)備包括設(shè)有檢測(cè)裝置、控制模塊和壓力傳感裝置的半導(dǎo)體處理腔體，半導(dǎo)體處理腔體設(shè)有正壓吹掃控制管路、負(fù)壓進(jìn)氣控制管路和抽排氣控制管路，控制方法包括：控制模塊判斷檢測(cè)物信息包括含水氧后，根據(jù)壓力信息控制正壓吹掃控制管路使半導(dǎo)體處理腔體內(nèi)連續(xù)通入和排出吹掃氣體；控制模塊判斷檢測(cè)物信息包括含有害物后，根據(jù)壓力信息控制抽排氣控制管路和負(fù)壓進(jìn)氣控制管路，以使半導(dǎo)體處理腔體內(nèi)的壓力在負(fù)壓設(shè)定范圍下分別對(duì)半導(dǎo)體處理腔體執(zhí)行通入吹掃氣體的操作和進(jìn)行抽排氣控制的操作。本發(fā)明解決現(xiàn)有技術(shù)中采用正壓吹掃容易導(dǎo)致有害物質(zhì)泄漏擴(kuò)散到環(huán)境中的安全隱患問題。

本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體處理設(shè)備的控制方法和半導(dǎo)體處理設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體處理設(shè)備的控制方法，其特征在于，包括執(zhí)行正壓吹掃控制步驟或負(fù)壓吹掃控制步驟，所述正壓吹掃控制步驟包括正壓連續(xù)吹掃控制步驟；所述半導(dǎo)體處理設(shè)備包括設(shè)有檢測(cè)裝置、控制模塊和壓力傳感裝置的半導(dǎo)體處理腔體，所述半導(dǎo)體處理腔體設(shè)有正壓吹掃控制管路、負(fù)壓進(jìn)氣控制管路和抽排氣控制管路，所述半導(dǎo)體處理腔體內(nèi)放置有待處理物；所述正壓連續(xù)吹掃控制步驟包括：所述控制模塊根據(jù)所述檢測(cè)裝置發(fā)送的檢測(cè)物信息判斷為含水氧以及控制所述負(fù)壓進(jìn)氣控制管路和所述抽排氣控制管路為關(guān)閉狀態(tài)后，根據(jù)所述壓力傳感裝置發(fā)送的壓力信息控制所述正壓吹掃控制管路，以使所述半導(dǎo)體處理腔體內(nèi)連續(xù)通入和排出吹掃氣體，以及使所述半導(dǎo)體處理腔體內(nèi)的壓力在正壓設(shè)定范圍內(nèi)；所述負(fù)壓吹掃控制步驟包括：所述控制模塊根據(jù)所述檢測(cè)裝置發(fā)送的檢測(cè)物信息判斷為含有害物以及控制所述正壓吹掃控制管路為關(guān)閉狀態(tài)后，根據(jù)所述壓力傳感裝置發(fā)送的壓力信息控制所述抽排氣控制管路和所述負(fù)壓進(jìn)氣控制管路，以使所述半導(dǎo)體處理腔體內(nèi)的壓力在負(fù)壓設(shè)定范圍下分別對(duì)所述半導(dǎo)體處理腔體執(zhí)行通入所述吹掃氣體的操作和進(jìn)行抽排氣控制的操作。

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