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龍圖騰網恭喜長江存儲科技有限責任公司申請的專利樣品的表征方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114923938B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210571405.5，技術領域涉及：G01N23/20；該發明授權樣品的表征方法是由張云靜;石泉;劉軍;李國梁;魏強民設計研發完成，并于2022-05-24向國家知識產權局提交的專利申請。

本樣品的表征方法在說明書摘要公布了：公開了一種樣品的表征方法，包括：對樣品進行電子能量損失譜分析，獲得所述目標層的第一電子能量損失譜；根據第一電子能量損失譜的零損譜獲得所述樣品目標層的相對厚度；對樣品進行X方向切片，獲得樣品的真實厚度；根據樣品目標層的相對厚度和真實厚度計算平均自由程。本申請樣品的表征方法，通過樣品目標層的第一電子能量損失譜的零損譜以及樣品的真實厚度，獲得樣品目標層的平均自由程，然后根據平均自由程獲得樣品目標層的其他表征參數。

本發明授權樣品的表征方法在權利要求書中公布了：1.一種樣品的表征方法，所述樣品包括目標層和至少一個非目標層，所述目標層和所述非目標層的材質不同，所述樣品表面為第一方向，所述樣品為3DNAND大規模集成電路中的核心結構，其特征在于，所述樣品的表征方法包括：經由所述樣品表面對所述樣品進行電子能量損失譜分析，獲得所述目標層的第一電子能量損失譜和所述非目標層的第二電子能量損失譜；根據第一電子能量損失譜的零損譜獲得所述樣品目標層的相對厚度；據第二電子能量損失譜的零損譜獲得所述樣品非目標層的相對厚度；查表獲取所述非目標層的平均自由程；根據所述非目標層的相對厚度和平均自由程以及所述目標層的相對厚度獲得所述目標層的相對平均自由程，其中，根據所述非目標層的相對厚度和平均自由程以及所述目標層的相對厚度獲得所述目標層的相對平均自由程的步驟中，所述目標層和所述非目標層的真實厚度相同的情況下，計算公式為： ， 表示目標層的平均自由程，表示非目標層的平均自由程，表示非目標層的相對厚度，表示目標層的相對厚度。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人長江存儲科技有限責任公司，其通訊地址為：430074 湖北省武漢市武漢東湖新技術開發區未來三路88號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。