恭喜武漢帝爾激光科技股份有限公司;帝爾激光科技(無錫)有限公司李志剛獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜武漢帝爾激光科技股份有限公司;帝爾激光科技(無錫)有限公司申請的專利一種太陽能電池的前表面結(jié)及一種晶體硅電池的制作方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN117276396B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202210661889.2,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10F71/00;該發(fā)明授權(quán)一種太陽能電池的前表面結(jié)及一種晶體硅電池的制作方法是由李志剛;朱凡;陸紅艷;張強(qiáng);朱勝鵬設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2022-06-13向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種太陽能電池的前表面結(jié)及一種晶體硅電池的制作方法在說明書摘要公布了:本申請?zhí)峁┮环N前表面結(jié)的制作方法及一種晶體硅電池的制作方法,對晶體硅片表面進(jìn)行濕法處理后;在晶體硅表面印刷涂覆或沉積一層硼源后進(jìn)行激光摻雜,清洗硅片表面多余硼源和摻雜區(qū)的部分激光損傷;然后再利用后續(xù)工序中的高溫對激光摻雜區(qū)的激光損傷進(jìn)行修復(fù),之后完成表面的氧化鋁鈍化和氮化硅鍍膜,最后印刷一層銀漿或銀鋁含量經(jīng)過配比調(diào)整的銀鋁漿并燒結(jié),最終形成了具有優(yōu)質(zhì)鈍化、低金屬復(fù)合、低接觸電阻的前表面結(jié)結(jié)構(gòu)。與現(xiàn)有技術(shù)相比,僅增加了印刷涂覆或沉積硼源和激光摻雜的工序,考慮到后續(xù)金屬化時(shí)可以省去激光開槽步驟,因此實(shí)際僅增加一道印刷涂覆或沉積硼源的工序,流程簡單,可輕松實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)化。
本發(fā)明授權(quán)一種太陽能電池的前表面結(jié)及一種晶體硅電池的制作方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種晶體硅電池的制作方法,其特征在于,包括如下步驟:S1、對晶體硅片表面進(jìn)行濕法處理后;S2、在晶體硅正面印刷涂覆或沉積硼源;S3、對印刷涂覆或沉積的硼源進(jìn)行激光摻雜,將表面的硼摻入晶體硅中,形成的結(jié)深≥1μm;S4、對激光摻雜后的硅片進(jìn)行清洗,洗去多余的硼源和至少部分損傷;S5、在拋光的背表面,沉積隧穿氧化層和多晶硅層,利用擴(kuò)散的高溫,對激光摻雜產(chǎn)生的部分晶格缺陷進(jìn)行退火修復(fù)處理;S6、洗去表面的繞鍍層和氧化層后,在表面結(jié)構(gòu)上制備鈍化結(jié)構(gòu)層;S7、完成金屬化制作;S8、最后進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)和氫鈍化處理;最終,激光摻雜硼源形成的前表面結(jié)表面摻雜濃度為1E+20cm-3~2E+21cm-3。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人武漢帝爾激光科技股份有限公司;帝爾激光科技(無錫)有限公司,其通訊地址為:430078 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)九龍湖街88號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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