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龍圖騰網(wǎng)恭喜上海陛通半導(dǎo)體能源科技股份有限公司申請(qǐng)的專利一種半導(dǎo)體元器件高溫脫氣之后快速冷卻裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119465019B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-18發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510044850.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/02；該發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體元器件高溫脫氣之后快速冷卻裝置是由熊子遙;宋維聰設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-01-13向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種半導(dǎo)體元器件高溫脫氣之后快速冷卻裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體元器件高溫脫氣之后快速冷卻裝置，包括PVD腔體，所述PVD腔體內(nèi)設(shè)置有加熱器，側(cè)面設(shè)置有一冷卻罩；所述加熱器上設(shè)置有頂針；所述冷卻罩側(cè)面設(shè)置有一轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸上設(shè)置有冷卻結(jié)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)軸用于將冷卻結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)至冷卻罩或者加熱器上方，所述冷卻結(jié)構(gòu)上設(shè)置有用于頂針通過的第一開口結(jié)構(gòu)，以及用于晶圓通過的第二開口結(jié)構(gòu)；所述冷卻結(jié)構(gòu)內(nèi)部設(shè)置有循環(huán)冷媒，本發(fā)明通過對(duì)工藝的改進(jìn)，主要是實(shí)現(xiàn)在高溫脫氣后工藝的改進(jìn)，通過設(shè)計(jì)冷卻結(jié)構(gòu)，將晶圓包裹住，可以快速對(duì)脫氣后的晶圓進(jìn)行降溫，可以減少晶圓在脫氣腔體等待的時(shí)間，可以節(jié)約后續(xù)進(jìn)入主制程腔的時(shí)間，從而大大提升了工作效率。

本發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體元器件高溫脫氣之后快速冷卻裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體元器件高溫脫氣之后快速冷卻裝置，其特征在于，包括PVD腔體，所述PVD腔體內(nèi)設(shè)置有加熱器，側(cè)面設(shè)置有一冷卻罩；所述加熱器上設(shè)置有頂針；所述冷卻罩側(cè)面設(shè)置有一轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸上設(shè)置有冷卻結(jié)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)軸用于將冷卻結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)至冷卻罩或者加熱器上方，所述冷卻結(jié)構(gòu)上設(shè)置有用于頂針通過的第一開口結(jié)構(gòu)，以及用于晶圓通過的第二開口結(jié)構(gòu)；所述冷卻結(jié)構(gòu)內(nèi)部設(shè)置有循環(huán)冷媒，所述冷卻結(jié)構(gòu)至少設(shè)置有兩層結(jié)構(gòu)，所述第一開口結(jié)構(gòu)位于下層結(jié)構(gòu)上，用于頂針的通過；第二開口結(jié)構(gòu)位于冷卻結(jié)構(gòu)的側(cè)面，用于旋轉(zhuǎn)至加熱器上方時(shí)晶圓的通過，所述第一開口結(jié)構(gòu)為弧形開口結(jié)構(gòu)；所述冷卻結(jié)構(gòu)為中空的圓柱體或者長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu)，所述加熱器上設(shè)置有三個(gè)頂針，所述冷卻結(jié)構(gòu)上對(duì)應(yīng)設(shè)置有三個(gè)第一開口結(jié)構(gòu)，所述冷卻結(jié)構(gòu)為圓盤中空形結(jié)構(gòu)，上下兩個(gè)盤面內(nèi)部有冷卻水管路，在冷卻過程中冷卻結(jié)構(gòu)用于包裹住晶圓。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人上海陛通半導(dǎo)體能源科技股份有限公司，其通訊地址為：200120 上海市浦東新區(qū)慶達(dá)路315號(hào)13幢3F；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。