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龍圖騰網恭喜上海陛通半導體能源科技股份有限公司申請的專利一種用于PVD設備的脫氣腔獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119465018B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-18發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510044849.7，技術領域涉及：C23C14/02；該發明授權一種用于PVD設備的脫氣腔是由熊子遙;宋維聰設計研發完成，并于2025-01-13向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種用于PVD設備的脫氣腔在說明書摘要公布了：本發明公開了一種用于PVD設備的脫氣腔，包括PVD腔體，PVD腔體內設置有加熱器，一側設置有第一冷卻罩，另一側設置有第二冷卻罩；加熱器上設置有第一頂針，以及外側設置有第二頂針；第一冷卻罩側面設置有第一轉軸，第一轉軸上設置有第一冷卻結構，第一轉軸用于將第一冷卻結構旋轉至第一冷卻罩內或者加熱器上方，第一冷卻結構上設置有用于第一頂針通過的第一開口結構；第二冷卻罩側面設置有第二轉軸，第二轉軸上設置有一機械臂，機械臂活動連接有第二冷卻結構，第二轉軸通過機械臂將第二冷卻結構旋轉至第二冷卻罩內或者加熱器上方，本發明利用晶圓待在脫氣腔的時間，對晶圓降溫，減少后續冷卻時間，提升機臺產能。

本發明授權一種用于PVD設備的脫氣腔在權利要求書中公布了：1.一種用于PVD設備的脫氣腔，其特征在于，包括PVD腔體，所述PVD腔體內設置有加熱器，一側設置有第一冷卻罩，另一側設置有第二冷卻罩；所述加熱器上設置有第一頂針，以及外側設置有第二頂針；所述第一冷卻罩側面設置有第一轉軸，所述第一轉軸上設置有第一冷卻結構，所述第一轉軸用于將第一冷卻結構旋轉至第一冷卻罩內或者加熱器上方，所述第一冷卻結構上設置有用于第一頂針通過的第一開口結構；所述第二冷卻罩側面設置有第二轉軸，所述第二轉軸上設置有一機械臂，所述機械臂活動連接有第二冷卻結構，所述第二轉軸通過機械臂將第二冷卻結構旋轉至第二冷卻罩內或者加熱器上方，所述加熱器上設置有三個第一頂針，所述第一冷卻結構上對應設置有三個第一開口結構，所述第一開口結構為弧形開口結構，所述第一頂針用于頂起晶圓，并將晶圓置于第一冷卻結構的上表面，所述第二頂針用于頂起第二冷卻結構，并將第二冷卻結構靠近晶圓的上表面。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海陛通半導體能源科技股份有限公司，其通訊地址為：200120 上海市浦東新區慶達路315號13幢3F；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。