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龍圖騰網(wǎng)恭喜蘇州盛拓半導(dǎo)體科技有限公司申請的專利一種微動(dòng)平臺(tái)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119589620B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-18發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號(hào)為：202510142157.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B25H1/02；該發(fā)明授權(quán)一種微動(dòng)平臺(tái)是由陳慶生;高建;宋明翰;馬文成設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-02-10向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種微動(dòng)平臺(tái)在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種微動(dòng)平臺(tái)，包括：承載平臺(tái)，承載平臺(tái)的上表面開設(shè)有貫穿孔和安裝槽，貫穿孔位于安裝槽的中心，承載平臺(tái)的下表面設(shè)有驅(qū)動(dòng)自身升降的第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；檢測平臺(tái)，位于承載平臺(tái)上，用于吸附放置在檢測平臺(tái)表面的晶圓；導(dǎo)向部，導(dǎo)向部包括固定部和至少一個(gè)彈性部，固定部位于貫穿孔內(nèi)并固定在橫穿承載平臺(tái)下方的橫梁上，彈性部位于安裝槽內(nèi)并圍繞固定部的周側(cè)設(shè)置，且一端與固定部連接，另一端固定在安裝槽內(nèi)，當(dāng)?shù)谝或?qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)承載平臺(tái)升降時(shí)，彈性部繞其與固定部的連接位置發(fā)生彈性形變，以使承載平臺(tái)僅沿一個(gè)方向發(fā)生運(yùn)動(dòng)。

本發(fā)明授權(quán)一種微動(dòng)平臺(tái)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種微動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，包括：承載平臺(tái)（1），所述承載平臺(tái)（1）的上表面開設(shè)有貫穿孔（11）和安裝槽（12），所述貫穿孔（11）位于所述安裝槽（12）的中心，所述承載平臺(tái)（1）的下表面設(shè)有驅(qū)動(dòng)自身升降的第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)（13）；檢測平臺(tái)（2），位于所述承載平臺(tái)（1）上，用于吸附放置在所述檢測平臺(tái)（2）表面的晶圓；導(dǎo)向部（3），所述導(dǎo)向部（3）包括固定部（31）和三個(gè)彈性部（32），所述固定部（31）位于所述貫穿孔（11）內(nèi)并固定在橫穿所述承載平臺(tái)（1）下方的橫梁上，所述彈性部（32）位于所述安裝槽（12）內(nèi)并圍繞所述固定部（31）的周側(cè)設(shè)置，且一端與所述固定部（31）連接，另一端固定在所述安裝槽（12）內(nèi)，當(dāng)所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)（13）驅(qū)動(dòng)所述承載平臺(tái)（1）升降時(shí)，所述彈性部（32）繞其與所述固定部（31）的連接位置發(fā)生彈性形變，以使所述承載平臺(tái)（1）僅沿一個(gè)方向發(fā)生運(yùn)動(dòng)。

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