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龍圖騰網恭喜中國科學院微電子研究所;真芯(北京)半導體有限責任公司申請的專利一種絕緣窗、反應腔及電感耦合等離子體處理裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114520138B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011297698.X，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權一種絕緣窗、反應腔及電感耦合等離子體處理裝置是由李相龍;周娜;李俊杰;李琳;王佳設計研發完成，并于2020-11-18向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種絕緣窗、反應腔及電感耦合等離子體處理裝置在說明書摘要公布了：本發明公開一種絕緣窗、反應腔及電感耦合等離子體處理裝置，涉及半導體技術領域，以解決由于陶瓷窗表面溫度不均勻，生成聚合物顆粒，影響刻蝕工藝的良率和性能的問題。所述絕緣窗包括：絕緣窗本體、加熱組件和溫度控制組件。絕緣窗本體具有腔體結構。加熱組件均勻的設置在腔體結構中，用于對絕緣窗本體進行加熱。溫度控制組件與加熱組件相連接，用于調節加熱組件的加熱溫度。所述反應腔包括上述技術方案所提的絕緣窗。所述電感耦合等離子體處理裝置包括上述技術方案所提的絕緣窗。本發明提供的電感耦合等離子體處理裝置用于處理晶圓。

本發明授權一種絕緣窗、反應腔及電感耦合等離子體處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種絕緣窗，其特征在于，應用于電感耦合等離子處理設備的反應腔中，所述絕緣窗包括：絕緣窗本體、加熱組件和溫度控制組件；所述絕緣窗本體具有腔體結構；所述加熱組件均勻的設置在所述腔體結構中，用于對所述絕緣窗本體進行加熱；所述溫度控制組件與所述加熱組件相連接，用于調節所述加熱組件的加熱溫度；所述加熱組件包括至少一個加熱管道；所述溫度控制組件，包括：蒸發器和第二控制器，所述蒸發器與所述加熱管道和液體供應管道連接，所述蒸發器用于將所述液體供應管道內的液體蒸發為氣體狀態；所述第二控制器，用于在氣體溫度到達預設溫度時，控制所述蒸發器將氣體通入所述加熱管道。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國科學院微電子研究所;真芯(北京)半導體有限責任公司，其通訊地址為：100029 北京市朝陽區北土城西路3號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。