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龍圖騰網(wǎng)恭喜蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司申請的專利振動傳感器封裝結(jié)構(gòu)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN112887884B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202110312247.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H04R19/00；該發(fā)明授權(quán)振動傳感器封裝結(jié)構(gòu)是由唐行明;梅嘉欣設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-03-24向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本振動傳感器封裝結(jié)構(gòu)在說明書摘要公布了：公開了一種振動傳感器封裝結(jié)構(gòu)，包括：基板；封裝殼體，固定于所述基板的第一表面上，與所述基板之間形成第一腔體；MEMS芯片，固定于所述基板的第一表面上，并位于所述第一腔體內(nèi)，所述MEMS具有第二腔體；其中，所述基板上設(shè)置有貫穿基板的第一氣孔，所述封裝殼體上設(shè)置有貫穿所述封裝殼體的至少一個(gè)第二氣孔；所述MEMS芯片的一側(cè)經(jīng)由第一腔體、第二氣孔與外界連通，所述MEMS芯片的另一側(cè)經(jīng)由第二腔體、第一氣孔與外界連通。本申請的振動傳感器封裝結(jié)構(gòu)，通過在基板中形成第一氣孔，在封裝殼體中形成第二氣孔，使得振膜上下兩側(cè)都可以接收空氣中的聲音信號，從而降低了空氣中的聲音信號給振動傳感器帶來的噪聲干擾，提高了器件的良率和可靠性。

本發(fā)明授權(quán)振動傳感器封裝結(jié)構(gòu)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種振動傳感器封裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：基板；封裝殼體，固定于所述基板的第一表面上，與所述基板之間形成第一腔體；MEMS芯片，固定于所述基板的第一表面上，并位于所述第一腔體內(nèi)，所述MEMS具有第二腔體；其中，所述基板上設(shè)置有貫穿基板的第一氣孔，所述封裝殼體上設(shè)置有貫穿所述封裝殼體的至少一個(gè)第二氣孔；所述MEMS芯片的一側(cè)經(jīng)由第一腔體、第二氣孔與外界連通，所述MEMS芯片的另一側(cè)經(jīng)由第二腔體、第一氣孔與外界連通，經(jīng)由所述第一氣孔到達(dá)所述MEMS芯片振膜的聲音信號與經(jīng)由所述第二氣孔到達(dá)所述MEMS芯片振膜的聲音信號相互抵消。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司，其通訊地址為：215123 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號納米城NW09-501；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。