恭喜華海清科股份有限公司;清華大學張力飛獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網恭喜華海清科股份有限公司;清華大學申請的專利一種用于化學機械拋光的拋光液及化學機械拋光方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116240550B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310253838.0，技術領域涉及：C23F3/06；該發明授權一種用于化學機械拋光的拋光液及化學機械拋光方法是由張力飛;王同慶;路新春設計研發完成，并于2023-03-16向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種用于化學機械拋光的拋光液及化學機械拋光方法在說明書摘要公布了：本發明提供了一種用于化學機械拋光的拋光液及化學機械拋光方法，所述拋光液包括磨料、氧化劑、緩蝕劑、絡合劑和水；其中，所述緩蝕劑包括1,2,4?三氮唑、油酸鉀或1?苯基?5?巰基四氮唑中的任意一種或至少兩種的組合。本發明在拋光液中加入特定組分和濃度的緩蝕劑，使得CuCo的拋光速率選擇比處于可調狀態，用以降低表面腐蝕、提高金屬表面平坦化質量，防止拋光過程中造成表面粗糙、碟形和腐蝕坑等缺陷的出現。
本發明授權一種用于化學機械拋光的拋光液及化學機械拋光方法在權利要求書中公布了：1.一種用于晶圓的銅互連鈷阻擋層結構的化學機械拋光的拋光液，其特征在于，所述拋光液包括磨料、氧化劑、緩蝕劑、絡合劑和水；其中，所述氧化劑為過硫酸鉀，所述緩蝕劑由1-苯基-5-巰基四氮唑和油酸鉀組成且濃度比為1:1-5，所述絡合劑包括檸檬酸或乙二胺四乙酸中的任意一種或兩種的組合，使得鈷的材料去除率高于銅，并且銅鈷的拋光速率選擇比處于一種可調節的狀態。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人華海清科股份有限公司;清華大學，其通訊地址為：300350 天津市津南區咸水沽鎮聚興道11號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號