恭喜中北大學王慧奇獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜中北大學申請的專利一種化學氣相沉積制備硼烯的反應室結構及其制作方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116411257B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310274811.X,技術領域涉及:C23C16/44;該發明授權一種化學氣相沉積制備硼烯的反應室結構及其制作方法是由王慧奇;畢婷;張鋆哲;王美;王立勇;劉磊;范向前;胡勝亮設計研發完成,并于2023-03-21向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種化學氣相沉積制備硼烯的反應室結構及其制作方法在說明書摘要公布了:本發明為一種化學氣相沉積制備硼烯的反應室結構及其制作方法,屬于二維薄膜制備技術領域。本發明反應室結構包括第一剛玉圓柱管,第一剛玉圓柱管內設置有反應裝置和沉積裝置,反應裝置采用剛玉舟,沉積裝置包括第二剛玉圓柱管,第二剛玉圓柱管內設置有自支撐疊加結構,自支撐疊加結構由下層基底、中層基底和上層基底組成。本發明反應室結構設計科學、結構巧妙、制作簡單、使用方便,實現了在不增加其它支架或條件輔助的情況下直接有效地提高硼烯產量的目的。通過本發明反應室結構來制備硼烯,最終可以在三層基底上制備出大尺寸的硼烯片,并且下層基底、中層基底和上層基底上的硼烯形貌結構一致。
本發明授權一種化學氣相沉積制備硼烯的反應室結構及其制作方法在權利要求書中公布了:1.一種化學氣相沉積制備硼烯的反應室結構,其特征在于:包括第一剛玉圓柱管,第一剛玉圓柱管內部的一端設為反應區、另一端設為沉積區,反應區位置設置有反應裝置,沉積區位置設置有沉積裝置;反應裝置采用剛玉舟,剛玉舟的高度小于第一剛玉圓柱管的內徑;沉積裝置包括第二剛玉圓柱管,第二剛玉圓柱管的長度及直徑均小于第一剛玉圓柱管的長度及直徑,第二剛玉圓柱管的軸線方向與第一剛玉圓柱管的軸線方向一致;第二剛玉圓柱管內部的中間位置設置有自支撐疊加結構,自支撐疊加結構由下層基底、中層基底和上層基底組成,下層基底為向下彎曲的弧形基底,中層基底為水平設置的平直基底,上層基底為向上彎曲的弧形基底,下層基底和上層基底的彎曲弧度與第二剛玉圓柱管的內管壁弧度一致;自支撐疊加結構的整體高度小于第二剛玉圓柱管的內徑。
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