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龍圖騰網(wǎng)恭喜安徽五舟半導(dǎo)體材料有限公司申請的專利一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用的氣體反應(yīng)裝置獲國家實用新型專利權(quán)，本實用新型專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN222758320U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的實用新型授權(quán)公告中獲悉：該實用新型的專利申請?zhí)?專利號為：202420467470.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C16/455；該實用新型一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用的氣體反應(yīng)裝置是由姚啟滿設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-03-12向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用的氣體反應(yīng)裝置在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用的氣體反應(yīng)裝置，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，本裝置的噴氣機構(gòu)可以利用橫向移動的多個噴氣嘴向反應(yīng)箱內(nèi)噴入氣體，讓氣體均勻進入反應(yīng)箱內(nèi)部，使得反應(yīng)箱內(nèi)氣體濃度相同，進而各個半導(dǎo)體反應(yīng)速度都是最快的，加快生產(chǎn)效率，同時各個半導(dǎo)體反應(yīng)程度一樣，提高成品合格率，本裝置設(shè)置有兩個放置機構(gòu)，在一個帶有半導(dǎo)體的放置機構(gòu)反應(yīng)完成后將其取出，并將另一個裝有未反應(yīng)的半導(dǎo)體的放置機構(gòu)放入反應(yīng)箱內(nèi)，之后再將反應(yīng)好的半導(dǎo)體從抽出的放置機構(gòu)上取下并放上未反應(yīng)的半導(dǎo)體，不需要將半導(dǎo)體取下再重新安裝未反應(yīng)半導(dǎo)體之后再進行反應(yīng)，縮短耗費的時間，同時也增強了裝置的工作效率。

本實用新型一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用的氣體反應(yīng)裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用的氣體反應(yīng)裝置，其特征在于，包括反應(yīng)箱1和兩個放置機構(gòu)，所述反應(yīng)箱1的內(nèi)部上方設(shè)置有噴氣機構(gòu)，所述反應(yīng)箱1的內(nèi)部于噴氣機構(gòu)下方設(shè)置有放置機構(gòu)，所述噴氣機構(gòu)包括安裝在反應(yīng)箱1側(cè)且靠近上方的電機2，所述電機2的驅(qū)動端延伸至反應(yīng)箱1內(nèi)并安裝有端頭與其內(nèi)壁轉(zhuǎn)動連接的螺桿3，所述螺桿3上設(shè)置有螺紋座4，所述螺紋座4的下表面固定安裝有分流管5，所述分流管5的側(cè)面安裝有若干個均勻分布且朝下的噴氣嘴6，所述分流管5的側(cè)面還安裝有延伸至反應(yīng)箱1外部的蛇形伸縮管23。

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