買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網恭喜沈陽樂貝真空技術有限公司申請的專利一種可移動磁場磁控靶獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN222715439U 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-04發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422081798.9，技術領域涉及：C23C14/35；該實用新型一種可移動磁場磁控靶是由王海;白海萍;王光華;王英智;李天琦;王帥設計研發完成，并于2024-08-27向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種可移動磁場磁控靶在說明書摘要公布了：一種可移動磁場磁控靶，屬于磁控濺射技術領域，解決現有技術存在的靶面磁場分布不均勻，影響濺射過程穩定性，膜層厚度分布不均，靶材利用率低的問題。包括前側設置有靶體座的平面靶連接法蘭，靶體座前側設置靶主體，靶主體上設置磁控靶材，間冷板與靶主體所構成的循環冷卻通道的兩端分別與靶體進出水管相連；平面靶連接法蘭、靶體座和靶主體圍合構成的磁鐵移位調節空間內設置有磁鐵固定座，磁鐵固定座上設置可調磁鐵，磁鐵固定座后部設置的連接背板與驅動氣缸的伸縮端相連。其設計合理，結構緊湊，可優化磁場分布，擴展靶材濺射區域，改變靶材濺射刻蝕特征，增加靶材的刻蝕區域，實現靶材均勻濺射，有效提升靶材利用率，實用性強。

本實用新型一種可移動磁場磁控靶在權利要求書中公布了：1.一種可移動磁場磁控靶，包括平面靶連接法蘭（1），其特征在于：所述平面靶連接法蘭（1）的前側設置有靶體座（3），靶體座（3）與平面靶連接法蘭（1）之間設置有平面靶絕緣法蘭（2），所述靶體座（3）的前側設置有靶主體（4），靶主體（4）上設置有磁控靶材（7），磁控靶材（7）與靶主體（4）之間設置有間冷板（6），間冷板（6）與靶主體（4）所構成的循環冷卻通道的兩端分別與靶體進出水管（13）相連；所述平面靶連接法蘭（1）的后側設置有導電電極板（9）；所述平面靶連接法蘭（1）、靶體座（3）和靶主體（4）圍合構成的磁鐵移位調節空間（5）內設置有磁鐵固定座（12），磁鐵固定座（12）上設置有可調磁鐵（15），磁鐵固定座（12）的后部經由磁鐵移位調節空間（5）后側的開口、延伸到連接法蘭外部，且所述磁鐵固定座（12）的后部設置有連接背板（11），所述連接背板（11）通過氣缸過渡板（29）與驅動氣缸的伸縮端相連。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人沈陽樂貝真空技術有限公司，其通訊地址為：110135 遼寧省沈陽市沈北新區七星大街63-71號樓102室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。