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龍圖騰網恭喜朗姆研究公司申請的專利包括具有經冷卻的面板的噴頭的襯底處理室獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112262464B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980039640.4，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權包括具有經冷卻的面板的噴頭的襯底處理室是由達莫達爾·拉賈拉姆·尚巴格;納格拉杰·尚卡爾設計研發完成，并于2019-06-06向國家知識產權局提交的專利申請。

本包括具有經冷卻的面板的噴頭的襯底處理室在說明書摘要公布了：一種用于襯底處理室的噴頭包含：內壁；內充氣腔，其位于所述內壁之間；面板，其具有第一表面與第二表面，所述第二表面與所述第一表面相反；穿過所述面板的孔，其從所述第一表面延伸到所述第二表面；第一入口，其與所述內充氣腔流體地連接；外壁；第一外充氣腔，其位于所述內壁與所述外壁之間；第二外充氣腔，其位于所述內壁與所述外壁之間；以及冷卻劑通道，其：使所述第一外充氣腔與所述第二外充氣腔流體地連接；設置在所述面板內且在所述第一與第二表面之間；并且與所述孔流體地隔離。所述噴頭還包括：第二入口，其與所述第一外充氣腔流體地連接。

本發明授權包括具有經冷卻的面板的噴頭的襯底處理室在權利要求書中公布了：1.一種用于襯底處理室的噴頭，所述噴頭包括：桿部分，其包括第一端和第二端，并且包含第一直徑；基座部分，其連接到所述桿部分的所述第二端，并且包含大于所述第一直徑的第二直徑；內壁；在所述內壁之間的內充氣腔；所述基座部分包含面板，所述面板具有第一表面與第二表面，所述第二表面與所述第一表面相反；穿過所述面板的孔，其從所述第一表面延伸到所述第二表面；第一入口，其與所述內充氣腔流體地連接；外壁；第一外充氣腔，其在所述桿部分和所述基座部分中并且由所述內壁與所述外壁限定；第二外充氣腔，其在所述桿部分和所述基座部分中并且由所述內壁與所述外壁限定；冷卻劑通道，其：使所述第一外充氣腔與所述第二外充氣腔流體地連接；設置在所述面板內且在所述第一與第二表面之間；并且與所述孔流體地隔離，其中所述冷卻劑通道中的每一個包含多個豎直移位的冷卻劑通道；以及第二入口，其與所述第一外充氣腔流體地連接。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。