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龍圖騰網(wǎng)恭喜上海正帆科技股份有限公司申請(qǐng)的專利電子特氣的提純方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115155244B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-01發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202210963192.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B01D53/04；該發(fā)明授權(quán)電子特氣的提純方法是由李東升設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-08-11向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本電子特氣的提純方法在說明書摘要公布了：本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種電子特氣的提純方法，屬于半導(dǎo)體制造氣體提純技術(shù)領(lǐng)域。電子特氣為烷類氣體，提純方法包括吸附流程：采用堿處理改性和或酸處理改性的多孔碳對(duì)電子特氣原料氣中的電子特氣進(jìn)行吸附，使得電子特氣原料氣中的電子特氣和雜質(zhì)氣體分離。該提純方法采用吸附提純處理方式，能避免提純能耗高、物料損失多的問題；其中使用到的改性多孔碳對(duì)電子特氣有較好的吸附活性、吸附選擇性和吸附容量，能有效地吸附電子特氣實(shí)現(xiàn)電子特氣和雜質(zhì)氣體的分離，從而能有效去除電子特氣原料氣中的多種雜質(zhì)氣體。

本發(fā)明授權(quán)電子特氣的提純方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種電子特氣的提純方法，其特征在于，所述電子特氣為烷類氣體，所述提純方法包括依次進(jìn)行的如下流程：提供吸附裝置流程：提供填充有多孔碳且內(nèi)部處于負(fù)壓狀態(tài)的吸附裝置，所述多孔碳采用依次進(jìn)行堿處理改性和酸處理改性；所述堿處理改性包括：將多孔碳顆粒浸泡于堿液中；過濾出所述多孔碳顆粒，用去離子水沖洗，直到濾出水的pH值接近7；所述酸處理改性包括：將多孔碳顆粒浸泡于酸液中；過濾出所述多孔碳顆粒，用去離子水沖洗，直到濾出水的pH值接近7；降溫流程：對(duì)所述吸附裝置進(jìn)行制冷；吹掃流程：向所述吸附裝置內(nèi)充入氦氣至常壓狀態(tài)或正壓狀態(tài)，平衡第一預(yù)設(shè)時(shí)間，然后抽真空至負(fù)壓狀態(tài)；吸附流程：將所述電子特氣原料氣充入所述吸附裝置內(nèi)，采用所述多孔碳對(duì)所述電子特氣原料氣中的電子特氣進(jìn)行吸附而雜質(zhì)氣體處于游離狀態(tài)，使得所述電子特氣原料氣中的所述電子特氣和所述雜質(zhì)氣體分離；排氣流程：將所述雜質(zhì)氣體排出所述吸附裝置；回溫流程；對(duì)所述吸附裝置進(jìn)行加熱，使得所述電子特氣從所述多孔碳脫附；產(chǎn)氣流程：將脫附的所述電子特氣從所述吸附裝置輸出。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人上海正帆科技股份有限公司，其通訊地址為：200241 上海市閔行區(qū)春永路55號(hào)2幢；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。