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龍圖騰網恭喜上海正帆科技股份有限公司申請的專利電子特氣的提純方法獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115155244B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202210963192.0，技術領域涉及：B01D53/04；該發(fā)明授權電子特氣的提純方法是由李東升設計研發(fā)完成，并于2022-08-11向國家知識產權局提交的專利申請。

本電子特氣的提純方法在說明書摘要公布了：本申請實施例提供一種電子特氣的提純方法，屬于半導體制造氣體提純技術領域。電子特氣為烷類氣體，提純方法包括吸附流程：采用堿處理改性和或酸處理改性的多孔碳對電子特氣原料氣中的電子特氣進行吸附，使得電子特氣原料氣中的電子特氣和雜質氣體分離。該提純方法采用吸附提純處理方式，能避免提純能耗高、物料損失多的問題；其中使用到的改性多孔碳對電子特氣有較好的吸附活性、吸附選擇性和吸附容量，能有效地吸附電子特氣實現電子特氣和雜質氣體的分離，從而能有效去除電子特氣原料氣中的多種雜質氣體。

本發(fā)明授權電子特氣的提純方法在權利要求書中公布了：1.一種電子特氣的提純方法，其特征在于，所述電子特氣為烷類氣體，所述提純方法包括依次進行的如下流程：提供吸附裝置流程：提供填充有多孔碳且內部處于負壓狀態(tài)的吸附裝置，所述多孔碳采用依次進行堿處理改性和酸處理改性；所述堿處理改性包括：將多孔碳顆粒浸泡于堿液中；過濾出所述多孔碳顆粒，用去離子水沖洗，直到濾出水的pH值接近7；所述酸處理改性包括：將多孔碳顆粒浸泡于酸液中；過濾出所述多孔碳顆粒，用去離子水沖洗，直到濾出水的pH值接近7；降溫流程：對所述吸附裝置進行制冷；吹掃流程：向所述吸附裝置內充入氦氣至常壓狀態(tài)或正壓狀態(tài)，平衡第一預設時間，然后抽真空至負壓狀態(tài)；吸附流程：將所述電子特氣原料氣充入所述吸附裝置內，采用所述多孔碳對所述電子特氣原料氣中的電子特氣進行吸附而雜質氣體處于游離狀態(tài)，使得所述電子特氣原料氣中的所述電子特氣和所述雜質氣體分離；排氣流程：將所述雜質氣體排出所述吸附裝置；回溫流程；對所述吸附裝置進行加熱，使得所述電子特氣從所述多孔碳脫附；產氣流程：將脫附的所述電子特氣從所述吸附裝置輸出。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海正帆科技股份有限公司，其通訊地址為：200241 上海市閔行區(qū)春永路55號2幢；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。