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龍圖騰網(wǎng)恭喜浙江廣芯微電子有限公司申請的專利溝槽肖特基結(jié)構(gòu)的工藝參數(shù)優(yōu)化方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119067406B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-25發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202411546361.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06Q10/0631；該發(fā)明授權(quán)溝槽肖特基結(jié)構(gòu)的工藝參數(shù)優(yōu)化方法是由謝剛設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-11-01向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本溝槽肖特基結(jié)構(gòu)的工藝參數(shù)優(yōu)化方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了溝槽肖特基結(jié)構(gòu)的工藝參數(shù)優(yōu)化方法，涉及導(dǎo)體制造工藝優(yōu)化技術(shù)領(lǐng)域，該方法包括：獲取工藝組，包含多個(gè)工藝環(huán)節(jié)；提取第一工藝環(huán)節(jié)及其對應(yīng)的預(yù)定工藝指標(biāo)組，通過第一工藝數(shù)據(jù)庫對這些指標(biāo)進(jìn)行參數(shù)優(yōu)化，生成工藝決策。動(dòng)態(tài)監(jiān)測實(shí)時(shí)工藝指標(biāo)，并與工藝決策對比，得到工藝偏差。提取實(shí)時(shí)偏差中的第一指標(biāo)，通過加權(quán)相關(guān)系數(shù)生成第二工藝指標(biāo)校準(zhǔn)信息，用于校準(zhǔn)第二工藝環(huán)節(jié)的工藝決策，作為該工藝環(huán)節(jié)的制作標(biāo)準(zhǔn)。解決了現(xiàn)有工藝參數(shù)優(yōu)化無法及時(shí)調(diào)整工藝偏差的技術(shù)問題，達(dá)到了提升產(chǎn)品一致性和穩(wěn)定性、提高生產(chǎn)效率的技術(shù)效果。

本發(fā)明授權(quán)溝槽肖特基結(jié)構(gòu)的工藝參數(shù)優(yōu)化方法在權(quán)利要求書中公布了：1.溝槽肖特基結(jié)構(gòu)的工藝參數(shù)優(yōu)化方法，其特征在于，包括：步驟S100，獲取工藝組，所述工藝組包括制作目標(biāo)器件的多個(gè)工藝環(huán)節(jié)；步驟S200，提取所述多個(gè)工藝環(huán)節(jié)中的第一工藝環(huán)節(jié)，所述第一工藝環(huán)節(jié)對應(yīng)第一預(yù)定工藝指標(biāo)組；步驟S300，結(jié)合所述第一工藝環(huán)節(jié)的第一工藝數(shù)據(jù)庫對所述第一預(yù)定工藝指標(biāo)組進(jìn)行參數(shù)尋優(yōu)，得到第一工藝決策；步驟S400，動(dòng)態(tài)監(jiān)測得到所述目標(biāo)器件的第一實(shí)時(shí)工藝指標(biāo)信息，并與所述第一工藝決策進(jìn)行實(shí)時(shí)對比，得到第一工藝偏差，所述第一工藝偏差包括所述第一預(yù)定工藝指標(biāo)組中各指標(biāo)的實(shí)時(shí)偏差；步驟S500，提取所述第一工藝偏差中第一指標(biāo)的第一實(shí)時(shí)偏差，并加權(quán)第一相關(guān)系數(shù)得到第二工藝指標(biāo)校準(zhǔn)信息，所述第二工藝指標(biāo)校準(zhǔn)信息是指對所述多個(gè)工藝環(huán)節(jié)中第二工藝環(huán)節(jié)的第二工藝決策進(jìn)行動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)后的信息；步驟S600，將所述第二工藝指標(biāo)校準(zhǔn)信息作為所述目標(biāo)器件在所述第二工藝環(huán)節(jié)的制作標(biāo)準(zhǔn)；步驟S300包括：步驟S310，隨機(jī)獲取所述第一工藝數(shù)據(jù)庫中的第一數(shù)據(jù)組；步驟S320，將所述第一預(yù)定工藝指標(biāo)組在所述第一數(shù)據(jù)組中遍歷得到第一歷史工藝指標(biāo)信息；步驟S330，基于所述第一歷史工藝指標(biāo)信息與所述第一數(shù)據(jù)組中的第一歷史性能指數(shù)組建第一訓(xùn)練數(shù)據(jù)組；步驟S340，對所述第一訓(xùn)練數(shù)據(jù)組進(jìn)行有監(jiān)督學(xué)習(xí)并訓(xùn)練，得到性能模擬預(yù)測模型；步驟S350，通過所述性能模擬預(yù)測模型進(jìn)行模擬預(yù)測的尋優(yōu)分析，得到所述第一工藝決策；步驟S500包括：獲取所述第二工藝環(huán)節(jié)的第二工藝數(shù)據(jù)庫，其中，所述第二工藝環(huán)節(jié)是指所述多個(gè)工藝環(huán)節(jié)中所述第一工藝環(huán)節(jié)的鄰接下游工藝環(huán)節(jié)；獲取第二預(yù)定工藝指標(biāo)組中任意指標(biāo)；在第二數(shù)據(jù)組中匹配所述任意指標(biāo)對應(yīng)的任意指標(biāo)參數(shù)，所述第二數(shù)據(jù)組是指所述第二工藝數(shù)據(jù)庫中的任意歷史數(shù)據(jù)組；對所述第一指標(biāo)的第一實(shí)時(shí)指標(biāo)參數(shù)與所述任意指標(biāo)的所述任意指標(biāo)參數(shù)進(jìn)行相關(guān)性分析，得到相關(guān)性分析結(jié)果；分析所述相關(guān)性分析結(jié)果得到所述第一相關(guān)系數(shù)。

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