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龍圖騰網(wǎng)恭喜三菱電機(jī)株式會(huì)社申請(qǐng)的專利氣體激光放大器、氣體激光裝置、EUV光發(fā)生裝置及EUV曝光裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114667651B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：201980102111.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01S3/134；該發(fā)明授權(quán)氣體激光放大器、氣體激光裝置、EUV光發(fā)生裝置及EUV曝光裝置是由山本達(dá)也;西前順一;田所讓;成瀨正史;川島拓也設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2019-11-11向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本氣體激光放大器、氣體激光裝置、EUV光發(fā)生裝置及EUV曝光裝置在說明書摘要公布了：氣體激光放大器10A具有框體11、放電電極對(duì)20A、20B和光諧振器40。框體11具有：入射窗口12，其從外部被射入第1激光；以及出射窗口13，其將放大的第1激光射出。放電電極對(duì)20A、20B使供給至在框體11的內(nèi)部相對(duì)而配置的放電電極21A、22A、21B、22B之間的激光氣體發(fā)生激勵(lì)。光諧振器40在第1激光沒有從框體11的外部從入射窗口12射入至框體11的內(nèi)部的非入射狀態(tài)時(shí)，通過被激勵(lì)的激光氣體的增益使第2激光振蕩，在第1激光從入射窗口12射入至框體11的內(nèi)部的入射狀態(tài)時(shí)，使第2激光的振蕩停止。

本發(fā)明授權(quán)氣體激光放大器、氣體激光裝置、EUV光發(fā)生裝置及EUV曝光裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種氣體激光放大器，其特征在于，具有：框體，其具有從外部被射入第1激光的入射窗口、及將放大的所述第1激光射出的出射窗口；放電電極對(duì)，其使供給至在所述框體的內(nèi)部相對(duì)而配置的放電電極之間的激光氣體發(fā)生激勵(lì)；以及光諧振器，其在所述第1激光沒有從所述框體的外部從所述入射窗口射入至所述框體的內(nèi)部的非入射狀態(tài)時(shí)，通過被激勵(lì)的所述激光氣體的增益使第2激光振蕩，在所述第1激光從所述入射窗口射入至所述框體的內(nèi)部的入射狀態(tài)時(shí)，使所述第2激光的振蕩停止。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人三菱電機(jī)株式會(huì)社，其通訊地址為：日本東京；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。