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龍圖騰網(wǎng)恭喜西默有限公司申請(qǐng)的專利壓力控制式光譜特征調(diào)整器獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113632327B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202080024272.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01S3/00；該發(fā)明授權(quán)壓力控制式光譜特征調(diào)整器是由E·A·梅森;G·G·帕德馬班杜設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-03-03向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本壓力控制式光譜特征調(diào)整器在說明書摘要公布了：一種裝置包括氣體放電系統(tǒng)，該氣體放電系統(tǒng)包括氣體放電腔室并且被配置為產(chǎn)生光束；以及光譜特征調(diào)整器，該光譜特征調(diào)整器與由氣體放電腔室生成的前體光束光學(xué)連通。光譜特征調(diào)整器包括主體，該主體限定內(nèi)部，該內(nèi)部保持處于低于大氣壓力的壓力；至少一個(gè)光學(xué)通路，該至少一個(gè)光學(xué)通路限定在氣體放電腔室與主體的內(nèi)部之間，該光學(xué)通路對(duì)于前體光束是透明的；以及光學(xué)元件集合，該光學(xué)元件集合位于內(nèi)部?jī)?nèi)，該光學(xué)元件被配置為與前體光束相互作用。

本發(fā)明授權(quán)壓力控制式光譜特征調(diào)整器在權(quán)利要求書中公布了：1.一種光譜特征調(diào)整器，包括：主體，限定內(nèi)部，所述內(nèi)部保持處于低于大氣壓力的壓力；至少一個(gè)光學(xué)通路，穿過所述主體，所述光學(xué)通路對(duì)于波長(zhǎng)在紫外范圍內(nèi)的光束是透明的；光學(xué)元件集合，位于所述內(nèi)部?jī)?nèi)，所述集合中的所述光學(xué)元件被配置為與所述光束相互作用，其中所述光學(xué)元件集合包括一個(gè)或多個(gè)可致動(dòng)光學(xué)元件；以及致動(dòng)系統(tǒng)，位于所述內(nèi)部?jī)?nèi)，所述致動(dòng)系統(tǒng)與所述一個(gè)或多個(gè)可致動(dòng)光學(xué)元件連通并且被配置為調(diào)整所述一個(gè)或多個(gè)可致動(dòng)光學(xué)元件的物理方面，其中所述光譜特征調(diào)整器與控制裝置通信，所述控制裝置還與氣體放電系統(tǒng)通信，所述氣體放電系統(tǒng)包括氣體放電腔室并且被配置為產(chǎn)生所述光束，所述控制裝置被配置為：確定所述光譜特征調(diào)整器的所述主體的所述內(nèi)部?jī)?nèi)的所述壓力是否在壓力的操作范圍內(nèi)；以及如果確定所述光譜特征調(diào)整器的所述主體的所述內(nèi)部?jī)?nèi)的所述壓力在壓力的所述操作范圍內(nèi)，則從在待機(jī)模式下操作所述氣體放電系統(tǒng)切換到在輸出模式下操作所述氣體放電系統(tǒng)。

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