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龍圖騰網(wǎng)恭喜上海迷思科技有限公司申請的專利雙層懸浮紅外熱電堆及其制備方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN113394331B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202110662171.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H10N10/01；該發(fā)明授權(quán)雙層懸浮紅外熱電堆及其制備方法是由倪藻;李偉設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-06-15向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本雙層懸浮紅外熱電堆及其制備方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種雙層懸浮紅外熱電堆及其制備方法，通過在紅外吸收層吸收部下引入導(dǎo)熱反射層，可提高吸收率，并將熱量更快、更多地集中到熱結(jié)端，有利于增大探測信號，提高探測性能；進一步的，通過設(shè)置預(yù)設(shè)犧牲層，使得具有較小寬度的刻蝕窗口即可形成具有較大寬度的隔熱空腔，可提高熱電堆的結(jié)構(gòu)布局的靈活性，提高器件空間利用率；進一步的，可在最后一道步驟中同時形成雙層懸浮紅外熱電堆，從而可有效降低工藝復(fù)雜度、提高成品率，有利于實現(xiàn)紅外熱電堆的小型化和高性能。本發(fā)明的雙層懸浮紅外熱電堆采用單面加工的加工方法，具有工藝簡單、成品率高的優(yōu)點，適合大批量生產(chǎn)。

本發(fā)明授權(quán)雙層懸浮紅外熱電堆及其制備方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種雙層懸浮紅外熱電堆的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：提供襯底；于所述襯底上形成熱電偶復(fù)合層，所述熱電偶復(fù)合層包括覆蓋所述襯底的支撐介質(zhì)層，以及位于所述支撐介質(zhì)層上的熱偶材料層、電絕緣層及金屬互聯(lián)層；圖形化所述熱電偶復(fù)合層，形成顯露所述襯底的刻蝕窗口；形成覆蓋所述熱電偶復(fù)合層及刻蝕窗口的犧牲層；形成覆蓋所述犧牲層的導(dǎo)熱反射層；圖形化所述犧牲層及導(dǎo)熱反射層，于熱電偶的熱結(jié)端形成顯露所述電絕緣層的溝槽；形成紅外吸收層，所述紅外吸收層包括覆蓋所述溝槽且與所述電絕緣層相接觸的紅外吸收層接觸部及覆蓋所述導(dǎo)熱反射層的紅外吸收層吸收部，所述紅外吸收層接觸部位于所述紅外吸收層的中央位置；采用濕法腐蝕，去除所述犧牲層形成間隔間隙，釋放帶有所述導(dǎo)熱反射層的紅外吸收層吸收部，形成第二層懸浮結(jié)構(gòu)，且自所述刻蝕窗口去除部分所述襯底形成隔熱空腔，釋放所述熱電偶復(fù)合層形成第一層懸浮結(jié)構(gòu)。

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