買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網恭喜上海迷思科技有限公司申請的專利雙層懸浮紅外熱電堆及其制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113394331B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110662171.0，技術領域涉及：H10N10/01；該發明授權雙層懸浮紅外熱電堆及其制備方法是由倪藻;李偉設計研發完成，并于2021-06-15向國家知識產權局提交的專利申請。

本雙層懸浮紅外熱電堆及其制備方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種雙層懸浮紅外熱電堆及其制備方法，通過在紅外吸收層吸收部下引入導熱反射層，可提高吸收率，并將熱量更快、更多地集中到熱結端，有利于增大探測信號，提高探測性能；進一步的，通過設置預設犧牲層，使得具有較小寬度的刻蝕窗口即可形成具有較大寬度的隔熱空腔，可提高熱電堆的結構布局的靈活性，提高器件空間利用率；進一步的，可在最后一道步驟中同時形成雙層懸浮紅外熱電堆，從而可有效降低工藝復雜度、提高成品率，有利于實現紅外熱電堆的小型化和高性能。本發明的雙層懸浮紅外熱電堆采用單面加工的加工方法，具有工藝簡單、成品率高的優點，適合大批量生產。

本發明授權雙層懸浮紅外熱電堆及其制備方法在權利要求書中公布了：1.一種雙層懸浮紅外熱電堆的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：提供襯底；于所述襯底上形成熱電偶復合層，所述熱電偶復合層包括覆蓋所述襯底的支撐介質層，以及位于所述支撐介質層上的熱偶材料層、電絕緣層及金屬互聯層；圖形化所述熱電偶復合層，形成顯露所述襯底的刻蝕窗口；形成覆蓋所述熱電偶復合層及刻蝕窗口的犧牲層；形成覆蓋所述犧牲層的導熱反射層；圖形化所述犧牲層及導熱反射層，于熱電偶的熱結端形成顯露所述電絕緣層的溝槽；形成紅外吸收層，所述紅外吸收層包括覆蓋所述溝槽且與所述電絕緣層相接觸的紅外吸收層接觸部及覆蓋所述導熱反射層的紅外吸收層吸收部，所述紅外吸收層接觸部位于所述紅外吸收層的中央位置；采用濕法腐蝕，去除所述犧牲層形成間隔間隙，釋放帶有所述導熱反射層的紅外吸收層吸收部，形成第二層懸浮結構，且自所述刻蝕窗口去除部分所述襯底形成隔熱空腔，釋放所述熱電偶復合層形成第一層懸浮結構。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海迷思科技有限公司，其通訊地址為：201306 上海市浦東新區中國(上海)自由貿易試驗區臨港新片區環湖西二路888號C樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。