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龍圖騰網恭喜北京晶亦精微科技股份有限公司申請的專利一種研磨液滴定裝置、機構、系統及研磨方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115488772B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211228208.X，技術領域涉及：B24B57/02；該發明授權一種研磨液滴定裝置、機構、系統及研磨方法是由尹影;龐浩;司馬超;李婷;劉曉亮;邊潤立設計研發完成，并于2022-10-09向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種研磨液滴定裝置、機構、系統及研磨方法在說明書摘要公布了：本發明涉及半導體加工技術領域，具體涉及一種研磨液滴定裝置、機構、系統及研磨方法，研磨液滴定裝置包括呈條形狀的主體，其內部為空腔，主體頂部設有至少一個進液口，主體底部為開口并形成出液口，開口內側壁為斜面，斜面呈內傾或外傾結構，沿主體長度的方向，其一端為固定端另一端為擺動端。對晶圓進行研磨時，開口內側壁呈內傾或外傾結構的斜面可將研磨液均勻刮涂在研磨墊表面的溝槽中，避免受離心力作用向研磨墊邊緣位置擴散，使研磨墊中心與邊緣位置的研磨液分布均勻，減少了研磨墊中心與邊緣的表面結構損耗產生差異，從而使研磨時的晶圓的研磨速率更加穩定，提高了產品的良品率，具有結構簡單，操作便捷的優點。

本發明授權一種研磨液滴定裝置、機構、系統及研磨方法在權利要求書中公布了：1.一種研磨液滴定裝置，其特征在于，包括：主體1，所述主體1呈條形，其內部為空腔，所述主體1頂部設有至少一個進液口2，所述主體1底部為開口并形成出液口，所述開口內側壁為斜面，所述斜面呈內傾或外傾結構，形成類似刮刀的形狀，適于將研磨液擠壓進入研磨墊12中，以實現將所述研磨液均勻分布，從而減少后續進程中待加工件上的波浪紋，沿所述主體1長度的方向，其一端為固定端另一端為擺動端；擋板3，所述擋板3設置在所述空腔內，所述擋板3距所述空腔兩側內壁距離不等，所述擋板3底面高于所述主體1底面。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京晶亦精微科技股份有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區經濟技術開發區泰河三街1號2幢2層101；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。