恭喜浙江大學付新獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜浙江大學申請的專利光刻設備檢測系統及其檢測方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116594265B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310650752.1，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權光刻設備檢測系統及其檢測方法是由付新;徐文蘋;趙美慧;文科權;徐寧;陳文昱設計研發完成，并于2023-06-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本光刻設備檢測系統及其檢測方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種光刻設備檢測系統及其檢測方法，包括模擬末端投影物鏡、氣體供給系統和采樣檢測系統，模擬末端投影物鏡具有朝向浸沒控制單元的鏡側面和朝向襯底的鏡底面，鏡側面中設有呈環形分布且朝向浸沒控制單元的多個側開口；模擬末端投影物鏡內設有注氣流道和采樣流道，注氣流道一端與氣體供給系統相連通，氣體供給系統向注氣流道供給難溶于浸液中的氣體，注氣流道另一端與側開口相連通；采樣流道一端與采樣檢測系統相連通，采樣流道另一端貫穿鏡底面。利用難溶性氣體將浸沒流場自由界面與環境氣體相分隔，避免環境因素干擾，從而準確地檢測浸液的潔凈度，以評價浸沒控制單元及其附屬流路的潔凈度質量。
本發明授權光刻設備檢測系統及其檢測方法在權利要求書中公布了：1.一種光刻設備檢測系統，其特征在于：包括模擬末端投影物鏡、氣體供給系統和采樣檢測系統，模擬末端投影物鏡具有朝向浸沒控制單元的鏡側面和朝向襯底的鏡底面，鏡側面中設有呈環形分布且朝向浸沒控制單元的多個側開口；模擬末端投影物鏡內設有注氣流道和采樣流道，注氣流道一端與氣體供給系統相連通，氣體供給系統向注氣流道供給難溶于浸液中的氣體，注氣流道另一端與側開口相連通；采樣流道一端與采樣檢測系統相連通，采樣流道另一端貫穿鏡底面。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人浙江大學，其通訊地址為：310058 浙江省杭州市西湖區余杭塘路866號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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