恭喜北京大學吳恒獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜北京大學申請的專利半導體結構的制備方法、半導體結構及半導體器件獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN117832173B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202311740316.X,技術領域涉及:H10D84/03;該發明授權半導體結構的制備方法、半導體結構及半導體器件是由吳恒;王潤聲;黎明;盧浩然;孫嘉誠;黃如設計研發完成,并于2023-12-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本半導體結構的制備方法、半導體結構及半導體器件在說明書摘要公布了:本申請提供一種半導體結構的制備方法、半導體結構及半導體器件,上述方法包括:提供一形成有鰭狀結構的襯底;其中,鰭狀結構包括在第一方向上排布的器件區和場區;去除鰭狀結構中位于場區的第一部分,保留場區的第二部分;基于鰭狀結構的上部,形成第一半導體結構,第一半導體結構包括第一源漏結構、第一源漏金屬和第一層間介質層;倒片并去除襯底,以暴露鰭狀結構的下部;去除場區的第二部分,以暴露第一層間介質層;基于鰭狀結構的下部,形成第二半導體結構,第二半導體結構包括第二源漏結構、第二源漏金屬和第二層間介質層;第一層間介質層和第二層間介質層中形成有互連通孔結構;互連通孔結構與第一源漏金屬、第二源漏金屬連接。
本發明授權半導體結構的制備方法、半導體結構及半導體器件在權利要求書中公布了:1.一種半導體結構的制備方法,其特征在于,包括:提供一形成有鰭狀結構的襯底;其中,所述鰭狀結構包括在第一方向上排布的器件區和場區;所述第一方向與所述鰭狀結構的延伸方向相同;去除所述鰭狀結構中位于所述場區的第一部分,保留所述場區的第二部分;其中,所述第一部分相對于所述第二部分遠離所述襯底;基于所述鰭狀結構的上部,形成第一半導體結構,所述第一半導體結構包括第一源漏結構、第一源漏金屬和第一層間介質層;其中,所述第一源漏結構位于所述器件區,所述第一層間介質層位于所述場區的所述第二部分之上;倒片并去除所述襯底,以暴露所述鰭狀結構的下部;去除所述場區的第二部分,以暴露所述第一層間介質層;基于所述鰭狀結構的下部,形成第二半導體結構,所述第二半導體結構包括第二源漏結構、第二源漏金屬和第二層間介質層;其中,所述第二源漏結構位于所述器件區,所述第二層間介質層位于所述場區的所述第一層間介質層之上;所述第一層間介質層和所述第二層間介質層中形成有互連通孔結構;所述互連通孔結構與所述第一源漏金屬、所述第二源漏金屬連接。
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