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龍圖騰網(wǎng)恭喜無錫華潤上華科技有限公司申請的專利光學(xué)臨近效應(yīng)修正方法及系統(tǒng)和掩膜版獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114609857B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202011409455.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F1/36；該發(fā)明授權(quán)光學(xué)臨近效應(yīng)修正方法及系統(tǒng)和掩膜版是由孫鵬飛;王謹(jǐn)恒;陳潔;朱斌;張劍;曹楠設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-12-03向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本光學(xué)臨近效應(yīng)修正方法及系統(tǒng)和掩膜版在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種光學(xué)臨近效應(yīng)修正方法及系統(tǒng)和掩膜版，該方法包括：根據(jù)當(dāng)前層的前一層的圖形對光刻的原始設(shè)計圖形中當(dāng)前層的區(qū)域進行分類以獲得區(qū)域所屬的類別，區(qū)域所屬的類別包括原始設(shè)計圖形中當(dāng)前層中與前一層上下重疊的重疊區(qū)域和不重疊的非重疊區(qū)域；對各個類別的區(qū)域設(shè)定優(yōu)先級，其中，重疊區(qū)域的優(yōu)先級高于非重疊區(qū)域的優(yōu)先級；在原始設(shè)計圖形的邊緣設(shè)置多個目標(biāo)點，所述重疊區(qū)域的邊緣設(shè)置的目標(biāo)點的密度大于所述非重疊區(qū)域設(shè)置的目標(biāo)點的密度；根據(jù)OPC模型獲得原始設(shè)計圖形的修正圖形，并對其進行模擬以獲得圖形模擬結(jié)果；計算各個目標(biāo)點處圖形模擬結(jié)果和原始設(shè)計圖形之間的差異；根據(jù)差異以及目標(biāo)點的權(quán)重，對修正圖形進行調(diào)整。

本發(fā)明授權(quán)光學(xué)臨近效應(yīng)修正方法及系統(tǒng)和掩膜版在權(quán)利要求書中公布了：1.一種光學(xué)臨近效應(yīng)修正方法，其特征在于，光學(xué)臨近效應(yīng)修正方法包括：獲取當(dāng)前層的前一層的圖形，并根據(jù)所述前一層的圖形，對光刻的原始設(shè)計圖形中當(dāng)前層的區(qū)域進行分類，以獲得所述原始設(shè)計圖形中的區(qū)域所屬的類別，其中，所述區(qū)域所屬的類別包括所述原始設(shè)計圖形中當(dāng)前層中與前一層上下重疊的重疊區(qū)域和不重疊的非重疊區(qū)域；對各個類別的區(qū)域設(shè)定優(yōu)先級，其中，所述重疊區(qū)域的優(yōu)先級高于所述非重疊區(qū)域的優(yōu)先級；在所述原始設(shè)計圖形的邊緣設(shè)置多個目標(biāo)點，其中，所述重疊區(qū)域的邊緣設(shè)置的目標(biāo)點的密度大于所述非重疊區(qū)域設(shè)置的目標(biāo)點的密度；根據(jù)OPC模型獲得所述原始設(shè)計圖形的修正圖形，并對所述修正圖形進行模擬，以獲得圖形模擬結(jié)果；計算各個所述目標(biāo)點處所述圖形模擬結(jié)果和所述原始設(shè)計圖形之間的差異；根據(jù)所述差異以及目標(biāo)點的權(quán)重，對所述修正圖形進行調(diào)整，以獲得調(diào)整后的修正圖形，對所述調(diào)整后的修正圖形進行模擬，以獲得圖形模擬結(jié)果，計算各個所述目標(biāo)點處所述圖形模擬結(jié)果和所述修正圖形之間的差異；反復(fù)執(zhí)行所述根據(jù)所述差異以及目標(biāo)點的權(quán)重，對所述修正圖形進行調(diào)整，以獲得調(diào)整后的修正圖形，對所述調(diào)整后的修正圖形進行模擬，以獲得圖形模擬結(jié)果，計算各個所述目標(biāo)點處所述圖形模擬結(jié)果和所述修正圖形之間的差異的步驟進行迭代，直到獲得最終的修正圖形。

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