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龍圖騰網恭喜無錫華潤上華科技有限公司申請的專利光學臨近效應修正方法及系統和掩膜版獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114609857B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011409455.0，技術領域涉及：G03F1/36；該發明授權光學臨近效應修正方法及系統和掩膜版是由孫鵬飛;王謹恒;陳潔;朱斌;張劍;曹楠設計研發完成，并于2020-12-03向國家知識產權局提交的專利申請。

本光學臨近效應修正方法及系統和掩膜版在說明書摘要公布了：本發明提供了一種光學臨近效應修正方法及系統和掩膜版，該方法包括：根據當前層的前一層的圖形對光刻的原始設計圖形中當前層的區域進行分類以獲得區域所屬的類別，區域所屬的類別包括原始設計圖形中當前層中與前一層上下重疊的重疊區域和不重疊的非重疊區域；對各個類別的區域設定優先級，其中，重疊區域的優先級高于非重疊區域的優先級；在原始設計圖形的邊緣設置多個目標點，所述重疊區域的邊緣設置的目標點的密度大于所述非重疊區域設置的目標點的密度；根據OPC模型獲得原始設計圖形的修正圖形，并對其進行模擬以獲得圖形模擬結果；計算各個目標點處圖形模擬結果和原始設計圖形之間的差異；根據差異以及目標點的權重，對修正圖形進行調整。

本發明授權光學臨近效應修正方法及系統和掩膜版在權利要求書中公布了：1.一種光學臨近效應修正方法，其特征在于，光學臨近效應修正方法包括：獲取當前層的前一層的圖形，并根據所述前一層的圖形，對光刻的原始設計圖形中當前層的區域進行分類，以獲得所述原始設計圖形中的區域所屬的類別，其中，所述區域所屬的類別包括所述原始設計圖形中當前層中與前一層上下重疊的重疊區域和不重疊的非重疊區域；對各個類別的區域設定優先級，其中，所述重疊區域的優先級高于所述非重疊區域的優先級；在所述原始設計圖形的邊緣設置多個目標點，其中，所述重疊區域的邊緣設置的目標點的密度大于所述非重疊區域設置的目標點的密度；根據OPC模型獲得所述原始設計圖形的修正圖形，并對所述修正圖形進行模擬，以獲得圖形模擬結果；計算各個所述目標點處所述圖形模擬結果和所述原始設計圖形之間的差異；根據所述差異以及目標點的權重，對所述修正圖形進行調整，以獲得調整后的修正圖形，對所述調整后的修正圖形進行模擬，以獲得圖形模擬結果，計算各個所述目標點處所述圖形模擬結果和所述修正圖形之間的差異；反復執行所述根據所述差異以及目標點的權重，對所述修正圖形進行調整，以獲得調整后的修正圖形，對所述調整后的修正圖形進行模擬，以獲得圖形模擬結果，計算各個所述目標點處所述圖形模擬結果和所述修正圖形之間的差異的步驟進行迭代，直到獲得最終的修正圖形。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人無錫華潤上華科技有限公司，其通訊地址為：214028 江蘇省無錫市國家高新技術產業開發區新洲路8號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。